[发明专利]层叠体、其制造方法和用途

说明书

技术领域

本发明涉及层叠体、层叠体的制造方法、带有支撑板的显示装置用面板、显示装置用面板和显示装置。

背景技术

近年来，正在推进太阳能电池(PV)、液晶面板(LCD)、有机EL面板(OLED)等器件(电子设备)的薄型化、轻量化，且正在推进这些器件中使用的基板的薄板化。当基板的强度由于薄板化而不足时，在器件的制造工序中，基板的操作性降低。

因此，一直以来广泛采用如下的方法：在比最终厚度更厚的基板上形成器件用构件(例如薄膜晶体管)后，通过化学蚀刻处理使基板薄板化。但是，在该方法中，例如，在将一片基板的厚度从0.7mm薄板化至0.2mm、0.1mm的情形下，要用蚀刻液将原先的基板材料的大部分削除，因此从生产率、原材料的使用效率等观点来看是不优选的。

另外，在上述利用化学蚀刻的基板的薄板化方法中，在基板表面存在微细的划痕的情形下，有时会由于蚀刻处理而以划痕为起点形成微细的凹坑(蚀刻凹痕)，从而形成光学缺陷。

最近，为了应对上述课题，提出了如下的方法：准备将薄板玻璃基板与增强板层叠而得到的层叠体，在层叠体的薄板玻璃基板上形成器件用构件后，从薄板玻璃基板分离增强板的方法(例如，参考专利文献1)。增强板具有支撑板和固定至该支撑板上的树脂层，树脂层与薄板玻璃基板以能够剥离的方式进行粘附。层叠体的树脂层与薄板玻璃基板的界面被剥离、从薄板玻璃基板分离出来的增强板，能够与新的薄板玻璃基板层叠、以层叠体的形式再利用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2007/018028号小册子

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在上述现有构成的层叠体中，在将增强板从薄板玻璃基板分离时，有时树脂层的一部分会附着在作为制品侧的薄板玻璃基板的剥离面上。特别是在高温条件下对层叠体进行加热处理后，会频繁产生树脂层的一部分向作为制品侧的薄板玻璃基板的剥离面的附着，其结果，存在导致成品率降低的担心。

另外，存在对分离后的薄板玻璃基板剥离面上进一步实施处理的情形，期望表面洁净。

但是，上述以往构成的层叠体中，树脂层成分的一部分附着至分离后的薄板玻璃基板的剥离面，即使欲通过利用使用溶剂等的洗涤等的洁净化处理来除去该附着物，也无法除去至实用上所期望的水平。

另外，以往构成的层叠体中，在分离后的薄板玻璃基板的剥离面中，在进行剥离时或剥离后的操作时，有时会产生玻璃的破裂(裂纹)等，从而有时导致成品率的降低。

本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供一种层叠体和层叠体的制造方法，该层叠体即使在实施高温加热处理后，在将树脂层与玻璃基板剥离时也可以抑制树脂层向玻璃基板的剥离面的附着，并且可以通过实施洁净化处理来保持分离后的玻璃基板的剥离面的洁净性，另外可以抑制在玻璃基板的剥离面中产生裂纹。

另外，本发明的目的在于提供包含该层叠体的带有支撑板的显示装置用面板、使用带有支撑板的显示装置用面板形成的显示装置用面板、和显示装置。

解决课题的手段

本发明人为了解决上述课题进行了广泛深入的研究，并完成了本发明。

即，为了实现上述目的，本发明的第一方式为一种层叠体，其依次具有支撑板的层、树脂层和带有无机绝缘膜的玻璃基板的层，并且该带有无机绝缘膜的玻璃基板的无机绝缘膜与该树脂层接触，其中，该带有无机绝缘膜的玻璃基板中，在玻璃基板的单面具有无机绝缘膜，该无机绝缘膜含有包含选自由硅和铝组成的组中的至少一种的氧化物、氮化物或氧氮化物，该无机绝缘膜的与该树脂层接触的面中碱金属和碱土金属的原子合计含量为0.5原子%以下，该支撑板的层与该树脂层的界面的剥离强度高于该树脂层与该无机绝缘膜的界面的剥离强度。

在第一方式中，该无机绝缘膜优选为包含氧化硅、氮化硅、氧氮化硅或氧化铝的膜。

在第一方式中，该无机绝缘膜的与该树脂层接触的面的表面粗糙度(Ra)优选小于30nm。

在第一方式中，该无机绝缘膜的厚度优选为5～5000nm。

在第一方式中，该玻璃基板的厚度优选为0.03～0.8mm。

在第一方式中，该树脂层的树脂优选为聚硅氧烷树脂。

在第一方式中，该聚硅氧烷树脂优选为有机烯基聚硅氧烷与有机氢聚硅氧烷的反应固化物。

在第一方式中，该树脂层的厚度优选为1～100μm。

在第一方式中，该支撑板优选为玻璃板。