[发明专利]基板支撑用的支撑板以及使用该支撑板的基板处理装置

权利要求书

1.一种基板支撑用的支撑板，其包括：

托板；

多个支撑销，可拆卸地结合于所述托板用以支撑基板。

2.根据权利要求1所述的基板支撑用的支撑板，其特征在于，

在所述托板上形成有结合孔，所述支撑销可插拔地结合于所述结合孔。

3.根据权利要求2所述的基板支撑用的支撑板，其特征在于，所述支撑销包括：

主体，其一端与所述托板接触；

结合突起，突出形成在所述主体的一端，并插拔于所述结合孔；

支撑突起，突出形成在所述主体的另一端，并接触和支撑所述基板；

支撑凸缘，形成在所述主体的外周面并与所述托板接触，支撑所述主体使所述主体垂直于所述基板。

4.根据权利要求3所述的基板支撑用的支撑板，其特征在于，

所述结合突起的截面形状为圆形、椭圆形以及方形中的任一形状，

所述结合孔的形状与所述结合突起的截面形状对应。

5.根据权利要求3所述的基板支撑用的支撑板，其特征在于，

所述结合突起的截面形状和所述结合孔的形状为相互对应的圆形，从而使所述结合突起能够以所述结合孔为基准进行旋转，

所述主体的中间部折弯，

穿过所述主体的一端的长度方向中心的虚拟直线，与穿过主体的另一端的长度方向中心的虚拟直线相互平行。

6.根据权利要求1所述的基板支撑用的支撑板，其特征在于，

所述支撑销的硬度小于所述基板的硬度。

7.一种基板处理装置，其包括：

本体，提供用于投入基板并进行处理的腔室；

多个支架，其设置在所述腔室的内部；

基板支撑用的支撑板，其具备：多个托板，上下隔着间隔，并支撑于所述支架；多个支撑销，可拆卸地结合于所述托板用以支撑所述基板。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述托板上形成有结合孔，所述支撑销可插拔地结合于所述结合孔。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，所述支撑销包括：

主体，其一端与所述托板接触；

结合突起，突出形成在所述主体的一端，直径小于所述主体的直径，且插拔于所述结合孔；

支撑突起，突出形成在所述主体的另一端，并接触和支撑所述基板；

支撑凸缘，形成在所述主体的外周面并与所述托板接触，支撑所述主体使所述主体垂直于所述基板。

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，

所述结合突起的截面形状为圆形、椭圆形以及方形中的任一形状，

所述结合孔的形状与所述结合突起的截面形状对应。

11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，

所述结合突起的截面形状和所述结合孔的形状为相互对应的圆形，从而使所述结合突起能够以所述结合孔为基准进行旋转，

所述主体的中间部折弯，

穿过所述主体的一端的长度方向中心的虚拟直线，与穿过主体的另一端的长度方向中心的虚拟直线相互平行。

12.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，

所述支撑销的硬度小于所述基板的硬度。