[发明专利]真空夹具装置

权利要求书

1.一种真空夹具装置，其特征在于，包括：

包含连接自下面吸入口经由内部排出通路至侧面或上面排出口的排出管路和连接自侧面下部流入口经由供给通路至上述吸入口侧的供给管路的本体；

与上述本体下部结合，由于中心通孔的边缘隆起且按同轴方式设置在上述吸入口内侧，从而从上述供给管路末端部分下部提供向上倾斜或者弧形结构的环状空气导管；

设置在上述空气导管的下部，通过上述通孔及吸入口将内部排气空间和上述本体的排出通路相互连通的吸附衬垫部。

2.根据权利要求1所述的真空夹具装置，其特征在于：

上述供给通路的口径形成逐渐扩大的形态或者包含为了构成上述形态的内置喷嘴。

3.根据权利要求1所述的真空夹具装置，其特征在于：

上述空气导管形成有将上述供给通路和排气空间连通的孔。

4.根据权利要求1所述的真空夹具装置，其特征在于：

上述衬垫部包括形成有多个吸附孔的下部吸附板，上述吸附孔与上述排气空间连成一体，构成一个空间。

5.根据权利要求4所述的真空夹具装置，其特征在于：

上述吸附板采用聚醚醚铜或者聚甲醛树脂制作。