[发明专利]下层部件的固定装置及具有该固定装置的流体控制装置

权利要求书

1.一种下层部件的固定装置，是将配置在支承部件与上层部件之间的带有螺栓穿插孔的下层部件通过螺栓而固定在支承部件上的装置，下层部件的螺栓穿插孔由大径部以及小径部构成，所述大径部具有比螺栓头部的直径更大的直径，所述小径部经由层差部与所述大径部的下方相连，并且具有尺寸处于螺栓头部的直径与螺栓轴部的直径之间的直径，在螺栓穿插孔的小径部中嵌入有圆筒状隔垫物，所述圆筒状隔垫物具有比螺栓轴部的直径更大的内径，并且其下端支承在支承部件上且其上端位于大径部内，在螺栓头部与层差部之间夹设有将下层部件向着支承部件弹压的弹性部件，所述下层部件的固定装置的特征在于，

弹性部件在其外周面、内周面、上表面以及下表面的至少一个部位上设有用于能够使弹性部件相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口。

2.根据权利要求1所述的下层部件的固定装置，其特征在于，弹性部件是由橡胶或者合成树脂构成的环状体。

3.根据权利要求1或2所述的下层部件的固定装置，其特征在于，弹性部件配置在设于隔垫物上端部的凸缘的下表面与层差部之间。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，弹性部件在切口设置之前的截面形状为将沿上下较长的长方形的四个角切除得到的八边形。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的任一方的上部以及下部。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的上下的中央部。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口设在弹性部件的内周面以及外周面的任一方的上下的中央部。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的任一方的上部、下部以及中央部。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的下层部件的固定装置，其特征在于，切口分别设在弹性部件的内周面以及外周面的上下的中央部和上表面以及下表面的中央部。

10.一种流体控制装置，其具有：多个通路块接头，设有向上方开口的流体通路；多个流体控制设备，设有与通路块接头的流体通路连通且向下方开口的流体通路；多个密封部，夹设在通路块接头的流体通路与流体控制设备的流体通路之间的对接面中；支承多个通路块接头的支承部件；将各通路块接头安装到支承部件上的多个螺栓；和将各流体控制设备安装到通路块接头上的多个螺栓，所述流体控制装置的特征在于，通路块接头为下层部件，且其通过权利要求1至9中任一项所述的下层部件的固定装置而安装在支承部件上。