[发明专利]下层部件的固定装置及具有该固定装置的流体控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种固定装置，另外还涉及具有该固定装置的流体控制装置，该固定装置例如在如下的流体控制装置中使用，该流体控制装置通过将多个接头（通路块接头）固定在支承部件上且以跨过这些接头的方式固定流体控制设备而组装得到，该固定装置将配置在支承部件与流体控制设备（上层部件）之间的通路块接头（下层部件）固定在支承部件上。

背景技术

在专利文献1中，作为本发明对象的下层部件的固定装置而公开了图7中所示的装置。

在图7中，两个通路块接头（51）安装在支承部件（52）上，跨过两个接头（51）而安装有上层的流体控制设备（省略图示）。在各通路块接头（51）中设有在将通路块接头（51）向支承部件（52）安装时供接头固定螺栓（53）穿插的螺栓穿插孔（54）。在支承部件（52）上开设有在将通路块接头（51）安装到支承部件（52）上时使用的螺纹孔（55）。

各接头（51）的螺栓穿插孔（54）由大径部（54a）和小径部（54b）构成，该大径部（54a）具有比螺栓头部（53a）的直径更大的直径，该小径部（54b）经由层差部（54c）而与该大径部（54a）相连，并且具有尺寸处于螺栓头部（53a）的直径与螺栓轴部（53b）的直径之间的直径。

在螺栓穿插孔（54）的小径部（54b）中嵌入有圆筒状隔垫物（56），该隔垫物（56）的下端支承在支承部件（52）上，上端位于大径部（54a）内。隔垫物（56）具有比螺栓轴部（53b）的直径更大的内径，并且具有比螺栓头部（53a）的直径更小的外径。在该隔垫物（56）中嵌入有接头固定螺栓（53）的轴部（53b）,该接头固定螺栓（53）的头部（53a）由隔垫物（56）的上端面支承。隔垫物（56）用来规定接头固定螺栓（53）的紧固量，当将接头固定螺栓（53）穿插到螺栓穿插孔（54）内并螺入至支承部件（52）的螺纹孔（55）中时，隔垫物（56）在接头固定螺栓（53）的头部（53a）与支承部件（52）之间顶撑，而使进一步的紧固无法进行。

在隔垫物（56）的上端部，嵌盖有外径与接头固定螺栓（53）的头部（53a）的直径大致相等的圆环状的橡胶垫圈（57）。橡胶垫圈（57）由接头固定螺栓（53）的头部（53a）与螺栓穿插孔（54）的层差部（54c）夹着。橡胶垫圈（57）的上下方向的长度设定为，在接头固定螺栓（53）的紧固完成状态下，在橡胶垫圈（57）上施加有压缩力。因此，两个接头（51）被橡胶垫圈（57）向支承部件（52）方向弹压。

根据这样的下层部件的固定装置，由于橡胶垫圈（57）具有弹性，所以能够使其进一步压缩变形，在两个接头（51）的上表面没有成为同一平面的情况下，能够使上表面较低的接头（51）向上方移动。

也就是说，形成如下的结构：一旦将各下层部件（51）固定后，使所需要的下层部件（51）以抵抗弹性部件（57）的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件（51）的上表面位置微调整。由此，能够简单地进行上层部件（51）的安装，并且，能够对夹在下层部件（51）与上层部件之间的所有的密封部施加适当的按压力，从而确保密封性。在此，在专利文献1中，作为弹性部件而例示了截面是矩形的橡胶垫圈（57）。

现有技术文献

专利文献1：日本专利第3774800号公报

根据上述专利文献1的下层部件的固定装置，当将用于固定下层部件的螺栓紧固时，隔垫物保持在螺栓头部与支承部件之间，此时，由于弹性部件将各下层部件朝向支承部件弹压，所以各下层部件不会晃动，另一方面，通过使弹性部件压缩弹性变形，而使上表面较低的下层部件向从支承部件离开的方向移动，而能够使下层部件的上表面彼此成为同一平面，由此，具有会使上层部件向下层部件的安装变得容易的优点。而且，弹性部件会吸收振动，由此，在防止一旦适当地紧固了的螺栓受到振动等的影响而松动这一点上也变得有利。

但是，在截面是矩形的弹性部件中，由于其压缩弹性变形量是有限的，所以在多个下层部件的上表面位置的微调整（调平）时，具有难以使下层部件的上表面彼此移动到成为同一平面为止的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。