[发明专利]有轨台车系统

说明书

技术领域

本发明涉及有轨台车系统，该有轨台车系统沿轨道对被搬运物进行搬运，对作为被搬运物的例如收纳有半导体装置制造用的各种基板等的容器进行搬运。

背景技术

作为有轨台车系统，公知有如下有轨台车系统（所谓的OHT：Overhead Hoist Transport：高架提升传输），例如对FOUP（Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒）等被搬运物进行搬运，并且该有轨台车系统具有在铺设于顶棚的轨道行进的悬垂型的台车。

对于这样的有轨台车系统而言，由于大多在空间单价昂贵的无尘室（clean room）内使用，所以需要实现节省空间。因此，提出了通过缩短将两条主轨道间连接的连接轨道的长度来实现节省空间的技术方案。例如，公知如下技术，即，具备强制地使在连接轨道行进时所使用的分支辊在连接轨道上偏移的强制引导件，并将连接轨道的长度缩短（例如，专利文献1）。

更具体而言，对于在N型轨道上欲向其它轨道变轨的台车而言，首先使台车的行进单元所具有的分支辊机构向行进中的轨道的宽度方向上的欲变轨的轨道所存在的一侧偏移，进而通过从行进中的轨道延伸至连接轨道中的分支引导件的引导而向连接轨道变轨。之后，在行进方向上，使分支辊机构向相反侧偏移，以使该分支辊机构被隔着恒定的隔离区域而存在于连接轨道的宽度方向相反侧的汇合侧的分支引导件引导。此时，利用设于隔离区域的强制引导件而强制地使分支辊机构朝相反侧的分支引导件方向偏移。这样，台车的行进单元被朝变轨侧的轨道引导。

专利文献1：日本特开2008-126743号公报

上述的技术中，若未设置不存在分支引导件的隔离区域，则无法使分支辊机构偏移。然而，对于隔离区域而言，即使在该隔离区域使用强制引导件，也要求该隔离区域具有一个分支辊机构在行进方向上的长度与分支辊机构在偏移的期间行进的长度相加所得的值以上的长度。

此处，在欲进一步缩短连接轨道的情况下，例如需要通过缩短强制引导件的行进方向上的长度来缩短隔离区域。然而，若缩短强制引导件的长度，则只要不减慢台车的行进速度，就会使分支辊急剧地偏移。这样的分支辊的急剧的偏移会对分支辊施加较大的应力，从而有可能成为动作异常的原因。另外，由于分支辊与强制引导件抵接时的冲击也变大，从而有可能导致台车的振动、分支辊的破损等。

如上所述，对于以往的技术而言存在如下技术方面的问题点：即使能够缩短连接轨道的长度，其效果也有限，而若欲实现进一步的缩短化，则会产生各种不良情况。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其课题在于提供能够有效地缩短连接轨道、且能够实现节省空间的有轨台车系统。

本发明的有轨台车系统具备轨道和台车。轨道具有第一主轨道及第二主轨道、以及将第一主轨道与第二主轨道相互连接的连接轨道。台车支承于轨道并且被引导而行进。台车具备行进部、分支辊支承部、姿势稳定辊支承部。行进部在轨道行进。分支辊支承部设于行进部，并将在行进部的宽度方向上分离地设置的第一分支辊及第二分支辊支承为能够在行进部的宽度方向上偏移。姿势稳定辊支承部设于行进部，并将用于使行进部的行进姿势保持稳定的姿势稳定辊支承为无法在行进部的宽度方向上偏移。轨道具备第一分支引导件、第二分支引导件、姿势稳定辊引导件。第一分支引导件在连接轨道的宽度方向的一侧从第一主轨道沿连接轨道的延伸方向延伸，该第一分支引导件对第一分支辊进行引导。第二分支引导件在连接轨道的宽度方向的另一侧、且隔着在连接轨道的延伸方向上与第一分支引导件不重叠的无引导件区间而沿连接轨道的延伸方向延伸至第二主轨道，该第二分支引导件对第二分支辊进行引导。姿势稳定辊引导件设置于无引导件区间，该姿势稳定辊引导件在无引导件区间对姿势稳定辊进行引导。此处，行进部的宽度方向指的是与台车的行进方向相交的方向。

本发明中，在轨道的未设置分支引导件的无引导件区间设有对姿势稳定辊进行引导的姿势稳定辊引导件。通过设置这样的姿势稳定辊引导件，能够在未设置引导分支辊的分支引导件的无引导件区间利用姿势稳定辊引导件来对姿势稳定辊进行引导，从而能够使台车的姿势稳定。

若在无引导件区间能够使台车的姿势稳定，则能够向本来应设置第一分支引导件及第二分支引导件的区间（即，应当通过使第一分支引导件及第二分支引导件对第一分支辊及第二分支辊进行引导而使台车的姿势稳定的区间）扩大无引导件区间。因而，能够将无引导件区间设为足够的长度，并且能够防止连接轨道整体加长。因此，能够使台车在第一主轨道与第二主轨道之间适当地进行移动，还能够实现连接轨道的缩短。