[发明专利]质量分析装置

权利要求书

1.一种质量分析装置，具备试样供给源、对从上述试样供给源供给的试样进行离子化的试样离子化部、导入进行离子化后的试样离子的试样导入抑制室、成为上述试样导入抑制室的下游的差动排气室、成为上述差动排气室的下游侧的分析部，其特征在于，具备：

放电生成单元，其在上述试样导入抑制室、上述差动排气室的至少一方的内部生成放电。

2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

上述放电生成单元具有在试样导入抑制室中相对设置的试样导入部电极和第一细孔部用构件（电极）、乃至在上述差动排气室中相对设置的第一细孔部用构件（电极）和第二细孔部用构件（电极）。

3.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

具有覆盖上述试样导入部电极、上述试样离子化装置、上述试样供给源的大气压容器。

4.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

具有覆盖上述试样导入部电极、第一细孔部用构件（电极）、第二细孔部用构件（电极）、试样导入部电极、上述差动排气室的真空压力容器。

5.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

一边导入促进堆积物的分解的气体和洗净液，一边进行放电。

6.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

具备检测基于上述放电的清洗的终点的单元。

7.根据权利要求6所述的质量分析装置，具备自清洗装置，其特征在于，

上述检测清洗的终点的单元包含分光器、等离子体监视器等光学装置。

8.根据权利要求6所述的质量分析装置，具备自清洗装置，其特征在于，

上述检测清洗的终点的单元包含压力计。