[发明专利]湿度传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种湿度传感器，包括：

湿度检测部（30），所述湿度检测部（30）包括一对检测电极（31a，31b）和湿度灵敏膜（36），所述检测电极（31a，31b）在基板（20）的湿度检测部形成表面（20a）上彼此面对，所述湿度灵敏膜（36）覆盖所述检测电极（31a，31b）和所述检测电极（31a，31b）之间的间隙；

作为外部连接端子的焊盘部（40），所述焊盘部（40）在所述基板（20）的所述湿度检测部形成表面（20a）上与所述湿度检测部（30）分离并且在键合线（115）连接至所述焊盘部（40）的情况下覆盖有保护凝胶部（50）；以及

堤坝部（60），所述堤坝部（60）在所述基板（20）的所述湿度检测部形成表面（20a）上位于所述湿度检测部（30）和所述焊盘部（40）之间，用以限制所述保护凝胶部（50）从所述焊盘部（40）侧流动至所述湿度检测部（30）侧，其中

所述堤坝部（60）包括堤坝导线（61，81）和堤坝湿度灵敏膜（62），

所述堤坝导线（61，81）由与所述检测电极（31a，31b）相同的材料制成并且与所述检测电极（31a，31b）位于相同的表面上，并且

所述堤坝湿度灵敏膜（62）由与所述湿度灵敏膜（36）相同的材料制成并且至少覆盖部分所述堤坝导线（61，81）。

2.根据权利要求1所述的湿度传感器，还包括：

多条堤坝导线（61，81），所述多条堤坝导线（61，81）包括所述堤坝导线并且沿着所述湿度检测部（30）和所述焊盘部（40）彼此面对的面对方向并排设置，其中

所述堤坝部（60）具有位于相邻的堤坝导线（61，81）之间的凹陷（63，64）。

3.根据权利要求2所述的湿度传感器，其中

所述堤坝湿度灵敏膜（62）覆盖至少两条相邻的堤坝导线（61，81）和所述至少两条相邻的堤坝导线（61，81）之间的间隙，并且

所述凹陷（63，64）位于所述至少两条相邻的堤坝导线（61，81）之间。

4.根据权利要求2或3所述的湿度传感器，其中

所述多条堤坝导线（61，81）的至少一条（61b）暴露于所述堤坝湿度灵敏膜（62）的外侧，并且

所述凹陷（63，64）位于所暴露的堤坝导线（61，81）和与所暴露的堤坝导线（61b）相邻的所述堤坝导线（61，81）之间。

5.根据权利要求4所述的湿度传感器，其中

在所述湿度检测部（30）和所述焊盘部（40）彼此面对的所述面对方向上，所暴露的堤坝导线（61b）位于所述堤坝湿度灵敏膜（62）和所述湿度灵敏膜（36）之间。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的湿度传感器，其中

所述检测电极（31a，31b）、所述焊盘部（40）以及所述堤坝导线（61，81）由相同的材料制成，

所述检测电极（31a，31b）的表面和所述堤坝导线（61，81）的表面共同覆盖有保护层（23），并且

所述湿度灵敏膜（36）和所述堤坝湿度灵敏膜（62）形成在所述保护层（23）上。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的湿度传感器，其中

所述堤坝导线包括虚设导线（61），所述虚设导线（61）不具有电连接功能并且与所述检测电极（31a，31b）和所述焊盘部（40）电隔离。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的湿度传感器，还包括：

电路部（80），所述电路部（80）形成在所述基板（20）中并且能够处理所述湿度检测部（30）的输出信号，其中

所述堤坝导线包括所述电路部（80）的导线（81）。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的湿度传感器，其中

所述湿度灵敏膜（36）和所述堤坝湿度灵敏膜（62）彼此分离。

10.根据权利要求9所述的湿度传感器，其中

所述基板（20）的所述湿度检测部形成表面（20a）具有矩形形状，并且

所述堤坝部（60）的所述堤坝湿度灵敏膜（62）从所述湿度检测部形成表面（20a）的一侧延伸至与所述一侧相对的另一侧，以将所述湿度检测部形成表面（20a）划分为两个区域。