[发明专利]细微结构形成用模和光学元件的制造方法

权利要求书

1.一种细微结构形成用模，其在具备表面的被加工体的所述表面上形成凹凸形状的细微结构，所述被加工体的所述表面具有曲率，该细微结构形成用模具有：

成型面部，其对所述细微结构进行转印；

基体部，其以能够使所述成型面部弯曲的方式支撑所述成型面部；以及

模变形部，其通过对所述基体部进行变形来使所述成型面部弯曲。

2.根据权利要求1所述的细微结构形成用模，其中，

在所述成型面部，在所述基体部的表面加工有转印所述细微结构的形状。

3.根据权利要求1所述的细微结构形成用模，其中，

所述模变形部具有使所述基体部的表面与所述被加工体的凹部相对地突出的凸变形部、和使所述基体部的表面与所述被加工体的凸部相对地凹陷的凹变形部中的至少一方。

4.根据权利要求1所述的细微结构形成用模，其中，

所述模变形部具有：

容积变化室，其将流体收纳在所述基体部的内部，能够通过所述流体的压力变化实现容积的增大和缩小中的至少一方；以及

压力控制单元，其使所述容积变化室内的流体的压力发生变化。

5.根据权利要求4所述的细微结构形成用模，其中，

所述基体部是通过将形成所述容积变化室的多个部件贴合而构成的。

6.根据权利要求1所述的细微结构形成用模，其中，

所述细微结构是集合了锤体的防反射结构。

7.一种光学元件的制造方法，其特征在于，该制造方法具有以下工序：

形成作为被加工体的光学元件主体，该光学元件主体在表面上具备具有曲率的光学面；

在所述光学面上涂布成型用树脂；

在通过权利要求1～6中的任意一项所述的细微结构成型用模的所述模变形部使所述成型面部变形为其形状沿着所述光学面的形状的状态下，将所述细微结构成型用模的所述成型面部隔着所述成型用树脂按压到所述光学面上，将所述细微结构成型用模的所述成型面部的形状转印到所述成型用树脂上，由此在所述光学面上成型所述细微结构。