[发明专利]用于减少对来自气体发送板的排气的洗涤的系统和方法

权利要求书

1.一种与气体源、压缩空气源和腔室一起使用的气体板，所述气体源能操作来提供气体流，所述压缩空气源能操作来提供压缩空气的流，所述气体板包括：

第一气体提供线，其配置为从所述气体源接收气体；

压缩空气提供线，其配置为从所述压缩空气源接收压缩空气；

质量流量控制器，其能操作来通过所述第一气体提供线接收所述气体，并提供所述气体的可控输出流；

阀，其能操作来处于第一状态和第二状态，以在处于所述第一状态时，使所述气体的所述流的第一量传递至所述腔室，在处于所述第二状态时，使所述气体的所述流的第二量传递至所述腔室；

排气部分，其在所述阀处于所述第一状态时，能操作来去除未传递至所述腔室的所述气体的所述流的部分；

喷嘴，其能操作来通过所述压缩空气提供线接收所述压缩空气；以及

外壳，

其中，所述第一气体提供线、所述压缩空气提供线、所述质量流量控制器、所述阀和所述喷嘴设置在所述外壳内，

其中，在所述阀处于所述第一状态时，所述喷嘴能操作来提供所述外壳内的所述压缩空气的输出流，以提供未传递至所述腔室的所述气体的所述流的所述部分的流。

2.如权利要求1所述的气体板，其还包括气体检测器，当所述气体存在于所述外壳内时，所述气体检测器能操作来检测所述外壳内所述气体的存在。

3.如权利要求2所述的气体板，其还包括压缩空气控制器，该压缩空气控制器能操作来基于由所述气体检测器检测到的气体的量，控制由所述喷嘴提供的压缩空气的量。

4.如权利要求3所述的气体板，其中，当所述气体检测器检测到在所述外壳内不存在所述气体时，所述压缩空气控制器能操作来使所述喷嘴不能提供压缩空气。

5.如权利要求4所述的气体板，其中，当所述气体检测器检测到在所述外壳存在所述气体时，所述压缩空气控制器能操作来启用所述喷嘴以提供压缩空气。

6.如权利要求3所述的气体板，其中，当所述气体检测器检测到在所述外壳内存在所述气体时，所述压缩空气控制器能操作来启用所述喷嘴以提供压缩空气。

7.一种与第一气体源、第二气体源、压缩空气源和腔室一起使用的气体板，所述第一气体源能操作来提供第一气体的第一流，所述第二气体源能操作来提供第二气体的第二流，所述压缩空气源能操作来提供压缩空气的流，所述气体板包括：

第一气体提供线，其配置为从所述第一气体源接收第一气体；

第二气体提供线，其配置为从所述第二气体源接收第二气体；

压缩空气提供线，其配置为从所述压缩空气源接收压缩空气；

第一质量流量控制器，其能操作来通过所述第一气体提供线接收所述第一气体，并提供所述第一气体的可控输出流；

第二质量流量控制器，其被设置成使得在所述第二质量流量控制器与所述第一质量流量控制器之间具有空间，所述第二质量流量控制器能操作来通过所述第二气体提供线接收所述第二气体，并提供所述第二气体的可控输出流；

第一阀，其能操作来处于第一状态和第二状态，以在处于所述第一状态时，使所述第一气体的所述流的第一量传递至所述腔室，在处于所述第二状态时，使所述第一气体的所述流的第二量传递至所述腔室；

第二阀，其能操作来处于第三状态和第四状态，以在处于所述第三状态时，使所述第二气体的所述流的第三量传递至所述腔室，在处于所述第四状态时，使所述第二气体的所述流的第四量传递至所述腔室；

排气部分，其在所述第一阀处于所述第一状态时，能操作来去除未传递至所述腔室的所述第一气体的所述流的部分，在所述第二阀处于所述第三状态时，去除未传递至所述腔室的所述第二气体的所述流的部分；

喷嘴，其能操作来通过所述压缩空气提供线接收所述压缩空气；以及

外壳，

其中，所述第一气体提供线、所述第二气体提供线、所述压缩空气提供线、所述第一质量流量控制器、所述第二质量流量控制器、所述第一阀、所述第二阀和所述喷嘴设置在所述外壳内，并且

其中，所述喷嘴设置在所述第二质量流量控制器与所述第一质量流量控制器之间的空间，在所述第一阀处于所述第一状态时，能操作来提供所述外壳内的所述压缩空气的输出流，以提供未传递至所述腔室的所述第一气体的所述流的所述部分的流。