[发明专利]用于减少对来自气体发送板的排气的洗涤的系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及气体发送系统领域，尤其是洗涤从气体板泄漏的处理气体。

背景技术

常规处理系统包含处理腔室、处理气体的源、以及控制从源向处理腔室的处理气体的流的气体板。气体板的一个共同用途是用于制造设施。气体板配备有质量流量控制器（MFC）和空气操作的阀，其配置依赖于特定应用。MFC被用于测量并控制气体板的气体或流体的流。使用图1进一步说明常规气体板。

图1示出常规气体板的示例配置。

如图中示出的那样，常规气体板100包含多个MFC102、多个气体阀104和排气系统106。

每个MFC102通过各气体提供线108从气体源接收气体提供。气体源可以提供气体，或更一般而言，流体。每个气体提供线可以携带不同的相应气体或流体给各MFC102。每个MFC102被设计并校准以控制其接收的气体流。在图1的示例配置中，配置17个MFC来通过入口阀（未示出）从气体源接收17个不同的气体提供。在馈送至气体板100的不同气体中，一些可以是处理气体、或压缩的干燥空气（CDA）或者特定应用要求的惰性气体。

如图所示，每个MFC102通过气体提供线110馈送给各气体阀。每个气体阀104可以是开关阀或者可控阀，用以控制经由该气体阀的气体流。气体阀104进一步通过提供线112将气体提供给处理腔室（未示出）。

排气系统106被用于通过出口114取出任何在气体板100内捕获的气体。在从排气流去除不希望的气体的情况下，排气洗涤是示例。

一些通过气体提供线108进入MFC102的处理气体是有害的，例如易燃和/或有毒的。如果在气体板100内泄漏了任何处理气体（诸如因处理气体线损坏造成）泄漏的处理气体会汇集在气体板100内。汇集的处理气体会创建有害的情形。使用图2对此进一步说明。

图2示出在MFC与气体阀之间损坏的气体提供线。

图2示出处理气体206被馈送至MFC202。MFC202与气体阀204之间的气体提供线208是损坏的，导致泄漏的气体212。在一个实施例中，MFC202和气体阀204是气体板100的一部分。在该示例中，泄漏的气体212在气体板100中汇集，该泄漏的气体212必须被去除。在气体板100内可能会有死腔（dead space），死腔会产生有害的情形。死腔是气体板100内的空间，其中，几乎没有或没有气体的移动，例如没有空气流。从而，泄漏的气体212可能汇集在该死腔中。

排气系统106帮助从气体板100内取出气体，以处理气体板100中泄漏的处理气体。使用图3对此进一步说明。

图3用损坏的处理气体线208示出常规气体板300。

除了MFC202和气体阀204，常规气体板300包含常规气体板100的所有组件。如图中示出的那样，MFC202与气体阀204之间的气体提供线208是损坏的，导致泄漏的气体212。泄漏的气体212被捕获在气体板300内的死区中，如虚线表明的那样。气体板300可以包含表明在气体板300内存在不希望的气体的机构。泄漏的气体212的量集中在气体板300内的一些袋中，其可能多于安全性所要求的最小允许量。一些处理气体是有毒和易燃的，因此，泄漏的气体212必须被去除来避免危险情况。

常规气体板300使用排气系统106来从气体板300内取出气体。在很多情况下，排气系统106可以满负荷连续运行，但仍然无法去除汇集在气体板300内的泄漏的气体。换言之，在一些实例中，排气系统106没有有效工作以执行其预期的操作；而在其他实例中，排气系统106没有执行其预期的操作。

如果气体板300内的有毒气体的量多于最小允许量，常规系统可以增加排气和洗涤来处理泄漏的气体。然而，这些常规系统对于洗涤从气体板300泄漏的处理气体212没有效率。

此外，对来自气体板的排气洗涤会导致更高的便利成本和功耗。当使用气体板时，大多数制造设施经常要求降低操作成本、便利成本、功耗、和建筑资本支出。此外，应该通过将点燃的潜在风险最小化来改善人的安全。

需要一种用于洗涤来自气体板的泄漏的处理气体的有效的系统和方法。

发明内容

本发明提供一种用于洗涤来自气体板的泄漏的处理气体的有效的系统和方法。