[发明专利]涂敷电子设备和相关方法无效
申请号: | 201280030224.6 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN103782366A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 菲利普·乐俊;安东尼·范兰德赫姆;彼得·马腾斯 | 申请(专利权)人: | 立可泼知识产权有限公司 |
主分类号: | H01L21/205 | 分类号: | H01L21/205;C23C16/44 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 美国加利福尼亚州*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子设备 相关 方法 | ||
1.一种涂敷电子设备的表面的方法,包含:
将电子设备的表面暴露于等离子体,所述等离子体包含具有下述化学式的化合物:
CH2=C(R1)-COO-R2
其中R1包括-H或者-CH3,R2包括-(CH2)2-(CF2)m-CF3,且m是3或5,从而在该表面上形成聚合物涂层,该聚合物涂层具有至少为5的疏油性水平。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述聚合物涂层具有5或6的疏油性水平。
3.如权利要求1所述的方法,其中所述聚合物涂层具有低毒性,全氟辛烷磺酸(PFOS)水平低于0.1个十亿分之一(ppb)且全氟辛酸(PFOA)水平低于0.2个十亿分之一(ppb)。
4.如权利要求1所述的方法,其中所述聚合物涂层包含选自由下述组成的群组的聚合物:
以及其混合物,其中n是2至100000。
5.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在将电子设备的表面暴露于包含该化合物的等离子体之前,以大约30cm3/min至大约50cm3/min的流速在等离子体室中引入所述化合物。
6.如权利要求1所述的方法,其中等离子体是低于1000mTorr的低压等离子体。
7.如权利要求1所述的方法,其中在将表面暴露于等离子体之前,该设备的至少一部分被打开。
8.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在将表面暴露于等离子体之前,清洁、蚀刻或者激活该电子设备。
9.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在将表面暴露于等离子体之前,对该电子设备除气。
10.如权利要求1所述的方法,其中在大约10mTorr至大约1000mTorr的压强,在大约5℃至大约200℃的温度,以及在大约20kHz至大约2.45GHz的频率,并且在大约5W至大约5000W的功率设置,形成所述等离子体。
11.如权利要求1所述的方法,其中在大约20mTorr至大约60mTorr的压强,形成所述等离子体。
12.如权利要求1所述的方法,其中在大约40℃至大约50℃的温度,形成所述等离子体。
13.如权利要求1所述的方法,其中在大约12MHz至大约15MHz的频率,形成所述等离子体。
14.如权利要求1所述的方法,其中在电极的大约0.017至0.023W每cm2的功率设置,形成所述等离子体。
15.如权利要求1所述的方法,其中在电子设备上以每分钟大约25至75nm厚度的速率形成所述聚合物涂层。
16.如权利要求1所述的方法,其中所述电子设备选自由下述组成的群组:手机、个人数字助理、计算机、平板计算机、音乐播放器、照相机、录像机、电池、电子阅读器、无线电设备和游戏设备。
17.如权利要求1所述的方法,其中暴露步骤包含下述步骤:
将电子设备放置在等离子体室中;
在等离子体室中在存在所述化合物时形成连续等离子体,从而形成蒸发的化合物;以及
使蒸发的化合物与电子设备的表面接触,由此该表面上形成聚合物涂层。
18.一种涂敷电子设备表面的方法,包含:
将电子设备的表面暴露于等离子体以形成聚合物涂层,所述聚合物涂层包含选自由下述组成的群组的聚合物:
以及其混合物,其中n为2至100000,并且其中所述聚合物涂层具有低毒性,全氟辛烷磺酸(PFOS)水平低于0.1个十亿分之一(ppb)且全氟辛酸(PFOA)水平低于0.2个十亿分之一(ppb)。
19.如权利要求18所述的方法,其中所述聚合物涂层具有至少为5的疏油性水平。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造