[发明专利]涂敷电子设备和相关方法无效

专利信息
申请号: 201280030224.6 申请日: 2012-05-17
公开(公告)号: CN103782366A 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 菲利普·乐俊;安东尼·范兰德赫姆;彼得·马腾斯 申请(专利权)人: 立可泼知识产权有限公司
主分类号: H01L21/205 分类号: H01L21/205;C23C16/44
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 史霞
地址: 美国加利福尼亚州*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 电子设备 相关 方法
【权利要求书】:

1.一种涂敷电子设备的表面的方法,包含:

将电子设备的表面暴露于等离子体,所述等离子体包含具有下述化学式的化合物:

CH2=C(R1)-COO-R2

其中R1包括-H或者-CH3,R2包括-(CH2)2-(CF2)m-CF3,且m是3或5,从而在该表面上形成聚合物涂层,该聚合物涂层具有至少为5的疏油性水平。

2.如权利要求1所述的方法,其中所述聚合物涂层具有5或6的疏油性水平。

3.如权利要求1所述的方法,其中所述聚合物涂层具有低毒性,全氟辛烷磺酸(PFOS)水平低于0.1个十亿分之一(ppb)且全氟辛酸(PFOA)水平低于0.2个十亿分之一(ppb)。

4.如权利要求1所述的方法,其中所述聚合物涂层包含选自由下述组成的群组的聚合物:

以及其混合物,其中n是2至100000。

5.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在将电子设备的表面暴露于包含该化合物的等离子体之前,以大约30cm3/min至大约50cm3/min的流速在等离子体室中引入所述化合物。

6.如权利要求1所述的方法,其中等离子体是低于1000mTorr的低压等离子体。

7.如权利要求1所述的方法,其中在将表面暴露于等离子体之前,该设备的至少一部分被打开。

8.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在将表面暴露于等离子体之前,清洁、蚀刻或者激活该电子设备。

9.如权利要求1所述的方法,进一步包含:在将表面暴露于等离子体之前,对该电子设备除气。

10.如权利要求1所述的方法,其中在大约10mTorr至大约1000mTorr的压强,在大约5℃至大约200℃的温度,以及在大约20kHz至大约2.45GHz的频率,并且在大约5W至大约5000W的功率设置,形成所述等离子体。

11.如权利要求1所述的方法,其中在大约20mTorr至大约60mTorr的压强,形成所述等离子体。

12.如权利要求1所述的方法,其中在大约40℃至大约50℃的温度,形成所述等离子体。

13.如权利要求1所述的方法,其中在大约12MHz至大约15MHz的频率,形成所述等离子体。

14.如权利要求1所述的方法,其中在电极的大约0.017至0.023W每cm2的功率设置,形成所述等离子体。

15.如权利要求1所述的方法,其中在电子设备上以每分钟大约25至75nm厚度的速率形成所述聚合物涂层。

16.如权利要求1所述的方法,其中所述电子设备选自由下述组成的群组:手机、个人数字助理、计算机、平板计算机、音乐播放器、照相机、录像机、电池、电子阅读器、无线电设备和游戏设备。

17.如权利要求1所述的方法,其中暴露步骤包含下述步骤:

将电子设备放置在等离子体室中;

在等离子体室中在存在所述化合物时形成连续等离子体,从而形成蒸发的化合物;以及

使蒸发的化合物与电子设备的表面接触,由此该表面上形成聚合物涂层。

18.一种涂敷电子设备表面的方法,包含:

将电子设备的表面暴露于等离子体以形成聚合物涂层,所述聚合物涂层包含选自由下述组成的群组的聚合物:

以及其混合物,其中n为2至100000,并且其中所述聚合物涂层具有低毒性,全氟辛烷磺酸(PFOS)水平低于0.1个十亿分之一(ppb)且全氟辛酸(PFOA)水平低于0.2个十亿分之一(ppb)。

19.如权利要求18所述的方法,其中所述聚合物涂层具有至少为5的疏油性水平。

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