[发明专利]沉积方法及装置

权利要求书

1.一种将由有机原始材料构成的层沉积于基底(11)上的方法，其中，将有机原始材料在蒸发器(1)内通过与由温控装置加热的传热面(15)的接触而以一个也与所述传热面(15)的温度有关的每单位时间质量进行蒸发，其中，将由此产生的蒸气由作为输出气流的载气自该蒸发器(1)送入处理室(10)中，所述蒸气在所述处理室内于所述基底(11)的表面上发生冷凝并形成层，其中，通过传感器(13)测量在输出气流中所产生的蒸汽并且改变所述传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化，其特征在于，将有机原始材料作为悬浮粒子形式的气溶胶在作为输入气流的载气气流中作为随时间变化的质量流量送入所述蒸发器，并且在所述蒸发器内作为未蒸发原始材料在其与所述传热面(15)的温度有关的所述蒸发器(1)内的平均停留时间内形成缓冲质量，其中，所述质量流量随时间的波动补偿的方式是，通过提高温度在秒或次秒范围内的第一时间段内增大离开所述蒸发器(1)的已蒸发的原始材料质量流量并且通过降低温度在所述第一时间段内减小离开所述蒸发器(1)的已蒸发原始材料质量流量，但在相当于第一时间段的十倍并且为若干秒范围内的第二时间段内使每单位时间进入所述蒸发器(1)中的质量流量等于离开所述蒸发器(1)的质量流量。

2.按权利要求1所述的方法，其特征在于，将利用所述输出气流内的所述传感器(13)所测定的且与所述蒸气在所述载气内的流量或分压对应的值作为调节变量传输给第一调节回路，所述第一调节回路将提供给所述传热面(15)的加热能流作为调节变量加以改变。

3.按权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一调节回路的响应时间比所述未蒸发有机原始材料在所述蒸发器(1)内的平均停留时间短5或10倍。

4.按前述权利要求任一项所述的方法，其特征在于，所述传热面(15)的温度变化率至少为5℃/s，通过改变该加热能流可使该温度变化±10℃。

5.按权利要求1或2所述的方法，其特征在于，具有一脉冲式输入气流，其中，所述脉冲间的时间短于该平均停留时间。

6.按权利要求1或2所述的方法，其中，所述传热面(15)由开放孔状的固态泡沫的孔壁构成，所述固态泡沫形成蒸发器(1)的容器壁。

7.按前述权利要求6所述的方法，其中，所述固态泡沫或所述固态泡沫的涂层导电，并且给所述固态泡沫或所述涂层通电以实现电阻加热。

8.按权利要求4所述的方法，其特征在于，所述传热面(15)的温度变化率至少为10℃/s。

9.一种用于蒸发固态的有机原始材料的装置，该蒸发装置具有构成了蒸发器(1)的容器，该容器具有用于输入气流的进气口(18)、用于输出气流的出气口(20)及设于内部的传热面(15)，其中，所述传热面(15)借助可变加热能流加热至一动态可控温度，在此温度，固态的原始材料与所述传热面(15)接触而蒸发成有机蒸气，所述有机蒸气经该出气口(20)离开所述容器，该装置还具有布置在所述输出气流内的传感器(13)，所述传感器提供与所述有机蒸气的流量或蒸气分压相关的传感器信号，该装置还具有第一调节回路，所述传感器信号被作为调节变量传输给所述第一调节回路，且作为调节变量改变所述加热能流，以便用可变热能流动态控制所述温度，其特征在于，还具有气溶胶发生器(2)，所述气溶胶发生器通过气溶胶管道(4)与进气口(18)相连通，其中所述原始材料作为随时间变化的质量流量作为在气溶胶发生器(2)中形成的悬浮粒子由作为输入气流的载气气流输送到容器中，其中，所述传热面(15)构造为，使得与所述传热面接触的固态的原始材料在一段能够由温度变化影响的停留时间内作为缓冲质量停留在所述蒸发器(1)内，所述缓冲质量可因温度变化而变化，其中借助第一调节回路补偿进入所述蒸发器(1)的原始材料质量流量随时间的波动的方式是，通过提高温度在秒或次秒范围内的第一时间段内增大离开所述蒸发器(1)的已蒸发原始材料质量流量并且通过降低温度在所述第一时间段内减小离开所述蒸发器(1)的已蒸发原始材料质量流量，但相当于第一时间段的十倍且为数若干秒范围内的第二时间段内使每单位时间进入所述蒸发器(1)中的质量流量等于离开所述蒸发器(1)的质量流量。

10.按权利要求9所述的装置，其中，所述传热面(15)由形成所述容器的壁的开放孔状的固态泡沫构成。