[发明专利]沉积方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种将由有机原始材料构成的层沉积到基底上的方法，其中，以载气流为输入气流将悬浮粒子形式的该有机原始材料送入蒸发器，该悬浮粒子在该蒸发器内与经加热的传热面接触并在经过一段与该传热面的温度有关的平均停留时间后蒸发，其中，以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器送入处理室，该蒸气在该处理室内在基底表面上发生冷凝并形成该层。

本发明还涉及一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置，其形式为一容器，该容器具有用于输入气流的进气口、用于输出气流的出气口及设于内部的传热面，其中，该传热面可借助热能流加热至某一温度，在此温度下，经该进气口被送入该容器的该悬浮粒子在与该传热面接触时蒸发成有机蒸气，该有机蒸气经该出气口离开该容器。

本发明还涉及一种用于以上述的蒸发器沉积OLED的装置。

背景技术

US 7,238,389 B2记载了一种同类型方法及同类型装置。其中用气溶胶发生器产生气溶胶。该气溶胶由被送入载气流的粉末构成。载气流将悬浮粒子形式的气溶胶粒子从气溶胶发生器送往蒸发器。该蒸发器由固态泡沫构成，将该固态泡沫加热至蒸发温度。通过悬浮粒子与固态泡沫的孔壁的表面接触给悬浮粒子输送蒸发热。蒸发率与传热面的温度有关。若在饱和区以下实施此过程，则每单位时间被送往蒸发器的有机原始材料质量等于该蒸发器每单位时间所释放的蒸气质量。特定区域内若温度不同，则未蒸发的有机原始材料在蒸发器内的平均停留时间亦不同。用载气将由此产生的蒸气送入其中设有基底的处理室。用该有机原始材料为该基底进行涂布。在最简单情况下，该基底仅需保持相应的较低温度，从而使蒸气沉积于基底表面形成冷凝物。

使用尤其是由钨、铼、钽、铌、钼或碳或涂层材料构成的固态泡沫来蒸发有机原始材料的方法另请参阅US 2009/0039175 A1。

US 6,037,241记载一种具有可用电加热的空心圆柱形固态泡沫的固态蒸发器。

DE 10 2006 026 576 A1记载一种固态蒸发器，其中用超音波激励器以形成粉末涡流的方式产生气溶胶。

US 7,501,152,B2记载一种用于将粉末状原始材料送至喷嘴的输送装置，借助该喷嘴可将该粉末状原始材料送入载气流。

DE 88 08 098 U1记载一种用电子束熔化固体以产生蒸气的方法。其中设有调节回路，可利用传感器调节蒸气产生率。为此使用多个电子束以在不同位置上加热表面。

US 2002/0192375 A1记载一种下游设有蒸发室的气溶胶发生器。将气溶胶喷入蒸发室，使其在该处蒸发。体积较大的滴状物可在经加热的壁上蒸发。

US 2010/0173067 A1描述一种通过在起泡器内蒸发液体以产生处理气体的CVD反应器。通过控制蒸发温度，调节质量流量。

通过控制蒸发温度来调节已蒸发材料的质量流率的蒸发器另请参阅EP 0 982 411 A2及WO 2010/060646 A1。

此外已知用刷轮产生气溶胶。刷轮毛刷自压缩粉饼上移取材料，该材料以悬浮粒子形式在载气流中输送。

另外已知以喷雾器形式将液体送入载气的装置。

现有技术所提供的气溶胶发生器具有固态或液态悬浮粒子质量流量随时间变化的特性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供若干措施以减小气溶胶蒸发所产生的蒸气随时间的波动率。

该技术问题通过在各权利要求中所述的本发明来解决。