[发明专利]真空蒸镀装置无效
| 申请号： | 201280033540.9 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN103649364A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 宫川展幸;西森泰辅;安食高志;北村一树 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空蒸镀装置，具备：用于在被蒸镀体上蒸镀多种材料的多个蒸发源；将上述多个蒸发源及上述被蒸镀体之间的空间包围、在上述被蒸镀体侧具有开口面的筒状体；使配置上述被蒸镀体、上述蒸发源以及上述筒状体的空间为真空状态的真空室，
该真空蒸镀装置的特征在于，
具备在上述筒状体的内部配置的分隔板，
上述分隔板具有开口部，该开口部在以上述分隔板的平面视形状的重心为中心的直径D的圆周范围内设有至少1个以上，上述直径D是上述分隔板的外周上的2点间距离中的最大值的2/3。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
上述开口部形成为几何学形状。
3.根据权利要求1或2所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
上述分隔板在该分隔板的平面视形状的外周位置具有开口面积比上述开口部小的辅助开口部。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
上述开口部形成为相对于上述分隔板的重心点对称。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
具备多个上述分隔板，
上述多个分隔板具备形状互不相同的开口部。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
上述分隔板具有加热机构以及温度调节机构。
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