[发明专利]流体控制阀

权利要求书

1.一种流体控制阀，具备控制流体的阀部和向所述阀部施加驱动力的驱动部，所述流体控制阀的特征在于，

所述阀部具备：

阀主体，形成有第一口和第二口；

阀座，设于所述第一口和所述第二口之间；及

隔膜，与所述阀座抵接或分离，

所述驱动部具备：

缸主体，具备活塞室，所述隔膜夹持在该缸主体与所述阀主体之间；

活塞，能够滑动地填装于所述活塞室而将所述活塞室划分为第一室和第二室，并与所述隔膜连接；及

橡胶制的密封部件，安装于所述活塞和所述缸主体的滑动接触面，

在所述缸主体的所述活塞室和与所述阀主体抵接的面之间设置截面积减小的缩颈部，

在所述缸主体形成与所述第一室连通的排气口、与所述第二室连通而供给操作气体的操作口和与所述隔膜的非接液室连通而供给吹扫气体的气体吹扫口，

在所述活塞形成使所述非接液室和所述第一室连通的流路。

2.根据权利要求1所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀主体和所述隔膜的材质为树脂，

所述缸主体的材质为金属。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制阀，其特征在于，具有：

多个固定螺钉，插通于所述缸主体；及

圆弧状的固定板，在圆周方向上均等地设有连接所述多个固定螺钉的内螺纹孔，

将所述固定板配置于所述阀主体的外周，并将插通于所述缸主体的所述多个固定螺钉与所述内螺纹孔连接，由此利用所述固定板和所述固定螺钉夹持并固定所述阀主体和所述缸主体。

4.根据权利要求3所述的流体控制阀，其特征在于，

所述固定板具有朝向中心部突出的推压部，

所述阀主体形成配置所述推压部的安装槽，

所述安装槽以使所述推压部配置于所述隔膜的外缘部的下方的方式形成。

5.根据权利要求3或4所述的流体控制阀，其特征在于，

在所述阀主体的与所述内螺纹孔对应的位置形成供所述固定螺钉的前端插入的止转孔。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的流体控制阀，其特征在于，

将所述缸主体的被所述固定板和所述固定螺钉夹持的部分形成为圆柱形状，

将所述阀主体的被所述固定板和所述固定螺钉夹持的部分形成为圆柱状或正六边形以上的正多边形状。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的流体控制阀，其特征在于，

所述阀主体的与所述缸主体接触的面的面积比所述缸主体的底面投影面积小，

所述安装槽被设成，在所述固定板至少使所述推压部与所述阀主体接触的状态下，在所述固定板与所述缸主体和所述阀主体中的至少一方之间形成间隙。

8.根据权利要求7所述的流体控制阀，其特征在于，

具备配置于所述间隙的绝热材料。