[发明专利]流体控制阀

说明书

技术领域

本发明涉及控制流体的流体控制阀。

背景技术

一直以来，控制流体的流体控制阀例如在半导体制造装置的清洗工序中使用。在清洗工序中，在除去涂敷于晶片的涂敷剂时，流体控制阀控制酸等清洗液的供给量。流体控制阀的接液面由耐腐蚀性材料形成，以便也能够控制腐蚀性高的流体。

图7是现有流体控制阀101的剖视图，图8是表示图7所示的流体控制阀101的固定结构的图。图9是图7所示的流体控制阀101的俯视图。

现有流体控制阀101具备阀部102和驱动部103，并经由安装板110安装于设备。阀部102在树脂制的阀主体120经由阀室123连通有第一口121和第二口122。阀室123在与第一口121连通的开口部周边设有阀座面124。隔膜125是对树脂成型所得的结构，具备与阀座面124抵接或分离的阀芯部125a、以弹性变形的方式较薄地形成的薄膜部125b及夹持于阀部102与驱动部103之间的外缘部125c。

驱动部103在缸体131和罩132之间形成有活塞室134。活塞135收容于活塞室134。橡胶制的密封部件141以与活塞室134的内壁滑动接触的方式安装于活塞135的外周面，将活塞室134气密地划分成第一室134a和第二室134b。活塞杆部136从驱动部103向阀部102突出，并与隔膜125的阀芯部125a连接。在活塞杆部136的外周面安装有与缸体131滑动接触的橡胶制的密封部件140，使得透过薄膜部25b而气化了的清洗液不会从阀部102向驱动部103泄漏。弹簧139缩设于第一室134a。排气口132a与第一室134a连通，供给操作气体的操作口131a与第二室134b连通。

这种流体控制阀101利用弹簧139的弹力和提供给第二室134b的操作气体的压力的平衡而使活塞135沿图中上下方向移动，使隔膜125与阀座面124抵接或分离，对在第一口121和第二口122之间流动的清洗液进行控制。

这种现有流体控制阀101为了确保耐腐蚀性，除弹簧139和密封部件140、141之外的零件的材质均为树脂。在清洗工序中，流体控制阀101控制例如160℃的清洗液。如图8所示，阀部102和控制部103以如下方式被固定：将固定螺钉146、147从上下方向拧入到在缸体131中插入的螺母部件148，避免连接因零件的蠕变变形而松弛。而且，如图8和图9所示，固定螺钉146、147被树脂制的盖151、152封闭，避免暴露在腐蚀性环境中（例如，参照专利文献1、专利文献2）。

专利文献1：日本特开2010－242916号公报

专利文献2：日本特开2009－002442号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，近年来，流体控制阀101所控制的清洗液的温度有时被设定为200℃～250℃。通过将清洗液设为高温，能够将清洗工序的时间缩短为三分之一至二分之一左右。在此情况下，在流体控制阀101中，清洗液的热量从阀主体120向阀座面124、隔膜125的阀芯部125a、活塞杆部136、活塞135、密封部件140、141传递。另外，清洗液的热量从阀主体120向隔膜125的外缘部125c、密封部件145、缸体131、罩132、密封部件140、141传递。密封部件140、141为橡胶制，耐热温度低。因此，当被传递清洗液的热量且加热至200℃左右时，有可能因变形、熔化等劣化而丧失密封力。另外，密封部件141有可能因热量而熔化并附着于缸体131的内壁，妨碍活塞135的动作。由于活塞135、活塞杆部136、密封部件140、141收容于缸体131内，所以热量难以向外部气体逃逸，容易产生上述问题。

本发明为了解决上述问题而作成，其目的在于提供一种能够抑制驱动部的温度升高而防止内容物的劣化的流体控制阀。

用于解决课题的方法

本发明的一实施方式具有下述构成。