[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，其利用了在LiNbO₃基板中传播的SH型板波，具备：

LiNbO₃基板；

被设置于LiNbO₃基板的至少一个面的叉指换能器电极；以及

在设有所述叉指换能器电极的区域的外侧，按照支撑所述LiNbO₃基板的方式形成于该LiNbO₃基板的支撑体，

所述LiNbO₃基板的欧拉角(0°，θ，0°)中，θ处于92°～138°的范围内，在将由所述叉指换能器电极的电极指间距决定的波长设为λ时，LiNbO₃基板的厚度处于0.05λ～0.25λ的范围内。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述叉指换能器电极由以下述表1所示的金属的任一种为主成分的金属构成，根据该金属的种类而设为下述表1所示的范围内的膜厚。

[表1]

 IDT电极膜厚Pt超过0且为0.083λ以下Au超过0且为0.055λ以下Cu超过0且为0.11λ以下Ni超过0且为0.16λ以下Al超过0且为0.135λ以下

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述叉指换能器电极由以下述表2所示的任一种金属为主成分的金属构成，根据该金属的种类，占空比被设为下述的表2所示的范围内。

[表2]

 占空比Pt0.105～0.62Au0.105～0.585Cu0.11～0.645Ni0.11～0.655Al0.115～0.63