[发明专利]弹性波装置

说明书

技术领域

本发明涉及被用作谐振器或带通滤波器的弹性波装置，更详细而言涉及利用在LiNbO₃基板中传播的SH型板波(SH plate wave)的弹性波装置。

背景技术

以往提出各种利用了在LiNbO₃中传播的板波的弹性波装置。例如下述的专利文献1公开了图16所示的弹性波谐振器。在图16所示的弹性波谐振器1001中，利用的是LiNbO₃单晶体基板1002。该LiNbO₃单晶体基板1002的中央为薄板部1002a。即、LiNbO₃单晶体基板1002的中央部分薄至具有厚度h。在专利文献1所述的实施例中，该厚度h为0.03λ₀。

再有，在薄板部1002a的上表面形成有IDT电极(叉指换能器电极)1003。在将IDT电极1003的电极指间距设为λ₀时，电极指的宽度L为0.125λ₀。

在专利文献1中记载了：在LiNbO₃的面方位被设为以X轴为中心并以-10°～70°范围的角度从Y轴向Z轴方向旋转的方位的情况下，弹性振动的主成分成为SH波，压电效应增大。

在专利文献1的实施例中，上述IDT电极1003由Al-0.7％Cu合金形成。另一方面，LiNbO₃单晶体基板1002由40°Y板构成，这意味着欧拉角(θ，ψ)的θ＝130°。

另一方面，在下述的专利文献2中，在段落〔0051〕公开了利用位于旋转角36°±20°的范围内的LiNbO₃、即欧拉角为(0°，106°～146°，0°)的LiNbO₃的弹性波元件。在此，由LiNbO₃构成的压电基板的弹性波传播面在机械上是自由的，由LiNbO₃构成的压电基板的厚度要比弹性波的波长λ还小。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2002-152007号公报

专利文献2：JP特开2002-368576号公报

发明内容

-发明所要解决的技术问题-

然而，在专利文献1中记载了：在将LiNbO₃的面方位设为上述特定的范围、即欧拉角为(0°，80°～160°，0°)的范围的情况下，SH型板波带来的压电效应增大。而且，在专利文献1所述的利用了SH型板波的构成中，并不一定能获得足够大的机电耦合系数k²，因此扩大相对带宽(bandwidth ratio)也存在限度。另外，在专利文献1中并未特别地提及IDT电极的膜厚。

再有，上述专利文献2虽然示出了利用上述欧拉角范围的LiNbO₃的弹性波装置且弹性波传播区域在机械上是自由的构造，但并未具体地记载利用了SH型板波的构成。

本发明的目的在于提供一种弹性波装置，其利用在LiNbO₃基板中传播的SH型板波，可有效地提高机电耦合系数k²，因此能扩大相对带宽宽度。

-用于解决技术问题的方案-

本发明涉及的弹性波装置利用在LiNbO₃基板中传播的SH型板波。本发明涉及的弹性波装置具备：LiNbO₃基板；被设置于LiNbO₃基板的至少一个面的IDT电极；以及在设置有所述IDT电极的区域的外侧按照支撑所述LiNbO₃基板的方式形成于该LiNbO₃基板的支撑体。本发明中，在所述LiNbO₃基板的欧拉角(0°，θ，0°)中，θ处于92°～138°的范围内，在将由所述IDT电极的电极指间距决定的波长设为λ时，LiNbO₃基板的厚度处于0.05λ～0.25λ的范围内。

在本发明涉及的弹性波装置的某一特定方式中，所述IDT电极由以下述的表1所示的金属的任一种为主成分的金属构成，根据该金属的种类而设为下述表1所示的范围内的膜厚。

[表1]