[发明专利]微电子器件有效

专利信息
申请号: 201280039580.4 申请日: 2012-08-15
公开(公告)号: CN103733337A 公开(公告)日: 2014-04-16
发明(设计)人: K·维尔瓦尼;K·戈帕拉克里希南;R·S·谢诺伊;D·S·贝休恩;A·J·科洛克 申请(专利权)人: 国际商业机器公司
主分类号: H01L27/10 分类号: H01L27/10;H01L29/82;H01L29/86;H01L21/768
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 贺月娇;于静
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 微电子 器件
【权利要求书】:

1.一种微电子器件,包括:

位线;

MaXbY2层,其中

a=0.4-1.2,b=0.8-1.2,

M选自Cu、Ag、Li和Zn,

X选自Cr、Mo和W,并且

Y选自Se、S、O和Te;

存储器元件;

字线,并且

其中,所述MaXbY2层和所述存储器元件:(i)被夹置在所述位线和所述字线之间,并且(ii)与所述字线和所述位线电串联。

2.权利要求1所述的器件,其中,所述MaXbY2层是CuaCrbS2,其中a=0.4-1.2并且b=0.8-1.2。

3.权利要求2所述的器件,其中,所述MaXbY2层是Cu0.24±0.005Cr0.26±0.005S0.5±0.01

4.权利要求1所述的器件,其中,所述MaXbY2层是CuaCrbSe2,其中a=0.4-1.2并且b=0.8-1.2。

5.权利要求4所述的器件,其中,所述MaXbY2层是Cu0.24±0.005Cr0.26±0.005Se0.5±0.01

6.任何前述权利要求所述的器件,还包括:与所述MaXbY2材料的相反侧接触的导电层。

7.权利要求6所述的器件,其中,所述导电层中的至少一个是惰性的。

8.权利要求6所述的器件,其中,所述导电层中的至少一个包括Cu3Ge。

9.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件在大于5x106A/cm2的电流密度下可靠地操作。

10.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件具有大于1V的电压容限。

11.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件还在其侧面被夹置在电介质之间。

12.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件是如下结构的组合或如下结构中任何结构的一部分:蘑菇结构、凹陷蘑菇结构、柱基元、光刻孔结构、亚光刻孔结构、以及环形基元结构。

13.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述存储器元件是下述存储器中的任何存储器:相变存储器(PCM)、电阻式RAM(RRAM)或磁阻式RAM(MRAM)。

14.一种微电子器件,包括:

位线;

被顶部导电层和底部导电层夹置的CuaCrbSc层,其中a=0.24±0.005,b=0.26±0.005,并且c=0.50±0.01;

存储器元件;

字线,并且

其中,所述CuaCrbSc层和所述存储器元件:(i)被夹置在所述位线和所述字线之间,并且(ii)与所述字线和所述位线电串联。

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