[发明专利]微电子器件有效
申请号: | 201280039580.4 | 申请日: | 2012-08-15 |
公开(公告)号: | CN103733337A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | K·维尔瓦尼;K·戈帕拉克里希南;R·S·谢诺伊;D·S·贝休恩;A·J·科洛克 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L27/10 | 分类号: | H01L27/10;H01L29/82;H01L29/86;H01L21/768 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 贺月娇;于静 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微电子 器件 | ||
1.一种微电子器件,包括:
位线;
MaXbY2层,其中
a=0.4-1.2,b=0.8-1.2,
M选自Cu、Ag、Li和Zn,
X选自Cr、Mo和W,并且
Y选自Se、S、O和Te;
存储器元件;
字线,并且
其中,所述MaXbY2层和所述存储器元件:(i)被夹置在所述位线和所述字线之间,并且(ii)与所述字线和所述位线电串联。
2.权利要求1所述的器件,其中,所述MaXbY2层是CuaCrbS2,其中a=0.4-1.2并且b=0.8-1.2。
3.权利要求2所述的器件,其中,所述MaXbY2层是Cu0.24±0.005Cr0.26±0.005S0.5±0.01。
4.权利要求1所述的器件,其中,所述MaXbY2层是CuaCrbSe2,其中a=0.4-1.2并且b=0.8-1.2。
5.权利要求4所述的器件,其中,所述MaXbY2层是Cu0.24±0.005Cr0.26±0.005Se0.5±0.01。
6.任何前述权利要求所述的器件,还包括:与所述MaXbY2材料的相反侧接触的导电层。
7.权利要求6所述的器件,其中,所述导电层中的至少一个是惰性的。
8.权利要求6所述的器件,其中,所述导电层中的至少一个包括Cu3Ge。
9.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件在大于5x106A/cm2的电流密度下可靠地操作。
10.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件具有大于1V的电压容限。
11.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件还在其侧面被夹置在电介质之间。
12.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述器件是如下结构的组合或如下结构中任何结构的一部分:蘑菇结构、凹陷蘑菇结构、柱基元、光刻孔结构、亚光刻孔结构、以及环形基元结构。
13.任何前述权利要求所述的器件,其中,所述存储器元件是下述存储器中的任何存储器:相变存储器(PCM)、电阻式RAM(RRAM)或磁阻式RAM(MRAM)。
14.一种微电子器件,包括:
位线;
被顶部导电层和底部导电层夹置的CuaCrbSc层,其中a=0.24±0.005,b=0.26±0.005,并且c=0.50±0.01;
存储器元件;
字线,并且
其中,所述CuaCrbSc层和所述存储器元件:(i)被夹置在所述位线和所述字线之间,并且(ii)与所述字线和所述位线电串联。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的