[发明专利]带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法及试样的检查或试样的观察方法

权利要求书

1.一种带电粒子线装置，其特征在于，

具备：

带电粒子照射部，其将从带电粒子源放出的一次带电粒子线照射到试样上；

第一机箱，其构成为支撑上述带电粒子照射部，能将内部维持为真空状态；

第二机箱，其位于该第一机箱且收纳上述试样；

排气装置，其对上述第一机箱内进行排气；

检测器，其在上述第一机箱内检测由上述照射得到的带电粒子线；

隔壁部，其构成为至少上述第一机箱或上述第二机箱的任一机箱的一部分、或不同体，对上述第一机箱内与上述第二机箱内之间的至少一部分进行分隔；

开口部，其设在该隔壁部上，上述带电粒子照射部侧的开口面积比上述试样侧的开口面积大；以及

薄膜，其覆盖该开口部的上述试样侧，使上述一次带电粒子线及上述带电粒子线透过或通过。

2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述隔壁部至少与上述第一机箱或上述第二机箱的任一部分电连通。

3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述开口部的内侧侧壁形成为锥状。

4.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

在上述开口部的内侧侧壁形成台阶。

5.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

形成有将上述开口部的上述试样侧划分为多个的划分部。

6.根据权利要求2所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述隔壁部将至少上述第一机箱或上述第二机箱的任一部分与上述薄膜电连通。

7.根据权利要求1或2所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述隔壁部至少其一部分由保持上述薄膜的薄膜保持部构成，该薄膜保持部的至少表面的一部分或全部由导电性或半导电性部件构成。

8.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述隔壁部至少由保持上述薄膜的薄膜保持部、固定该薄膜保持部的固定部件构成，

以上述固定部件与上述试样之间的距离比上述薄膜与上述试样之间的距离大的方式构成上述固定部件。

9.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述隔壁部至少由保持上述薄膜的薄膜保持部、支撑该薄膜保持部的薄膜保持部支撑体构成，上述薄膜保持部与上述薄膜保持部支撑体的接触部密合。

10.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述隔壁部至少构成保持上述薄膜的薄膜保持部，在该薄膜保持部的外周端至少具有一个以上的台阶部，利用该台阶部固定上述薄膜保持部。

11.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

具备将上述隔壁部从上述第二机箱侧移动到上述第一机箱侧的移动机构。

12.根据权利要求11所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述移动机构是用于载置上述试样的试样台。

13.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

具备用于调整上述薄膜的位置的位置调整机构。

14.根据权利要求13所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述位置调整机构位于闭塞上述第二机箱的试样出入口的闭塞部。

15.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

具备以为了载置试样而使上表面倾斜的方式构成的试样台，以及以该试样台的试样载置面与上述薄膜的该试样载置面侧的面平行的方式在上述隔壁部具备倾斜部。