[发明专利]带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法及试样的检查或试样的观察方法

说明书

技术领域

本发明涉及带电粒子线装置的技术。

本发明涉及能在大气压或规定的气体环境中观察被观察试样的带电粒子线装置的技术。

背景技术

为了观察物体的微小的区域，广泛使用扫描式电子显微镜（SEM）、透过式电子显微镜（TEM）等。一般地，在这些装置中，对用于配置试样的第二机箱进行真空排气，使试样环境为真空状态并对试样进行摄像。另一方面，利用电子显微镜观察生物化学试样、液体试样等由于真空受到损害、或状态变化的试样的需求增大，近年来，开发出了能在大气压下观察观察对象试样的SEM装置、试样保持装置等。

这些装置设置在原理上电子线能在电子光学系统与试样之间透过的薄膜，分隔真空状态与大气状态，任一个都在试样与电子光学系统之间设置薄膜这点是共通的。

在专利文献1、专利文献2、专利文献3中公开了以观察处于大气压下的试样、液体为目的，在试样周围配置电子线能通过的薄膜，利用薄膜分隔真空状态与大气压状态的大气压SEM装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平05-234552号公报

专利文献2：日本特开平10-064467号公报

专利文献3：日本特开2006-147430号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1、专利文献2、专利文献3记载的发明中，本领域技术人员得知在薄膜等保持结构等上存在几个技术问题。

即，为了有效地检测来自试样的放出电子，需要增大薄膜的放出电子透过区域，但当仅增大薄膜的放出电子透过区域时，存在无法保证薄膜的强度之类的问题。本发明是鉴于该问题而完成的，其目的在于提供通过用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察被观察试样的带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法、及试样的检查或试样的观察方法。

用于解决课题的方法

根据本发明的一个方案，提供一种带电粒子线装置及其调整方法，该带电粒子线装置具备：带电粒子照射部，其将从带电粒子源放出的一次带电粒子线照射到试样上；第一机箱，其支撑上述带电粒子照射部，构成为能将内部维持为真空状态；第二机箱，其位于该第一机箱且收纳上述试样；排气装置，其对上述第一机箱内进行排气；检测器，其在上述第一机箱内检测由上述照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少上述第一机箱或上述第二机箱的任一机箱的一部分、或不同体，对上述第一机箱内与上述第二机箱内之间的至少一部分进行分隔；开口部，其设在该隔壁部上，上述带电粒子照射部侧的开口面积比上述试样侧的开口面积大；以及薄膜，其覆盖该开口部的上述试样侧，使上述一次带电粒子线及上述带电粒子线透过或通过。

根据本发明的另一方案，提供一种试样的检查或试样的观察方法，其将从带电粒子照射部的带电粒子源放出的一次带电粒子线从将内部维持为真空状态的第一机箱照射到收纳在位于该第一机箱的第二机箱的试样上，上述一次带电粒子线通过设在隔壁部上且上述带电粒子照射部侧的开口面积比上述试样侧的开口面积大的开口部，其中，隔壁部构成为至少上述第一机箱或上述第二机箱的任一个机箱的一部分、或不同体，对上述第一机箱内与上述第二机箱内之间的至少一部分进行分隔，上述一次带电粒子线透过或通过覆盖上述开口部的上述试样侧的薄膜，对上述试样照射一次带电粒子线，来自上述试样的带电粒子线透过或通过上述薄膜，上述带电粒子线通过上述开口部，检测器在上述第一机箱内检测上述带电粒子线。

发明效果

根据本发明，能提供能够适当地具备带电粒子照射及透过的薄膜，比以往实用性高且能在大气环境下进行观察的带电粒子线装置、带电粒子线装置的调整方法及试样的检查或试样的观察方法。

附图说明

图1是作为本发明的第一实施方式的带电粒子线装置的整体结构图。

图2是作为本发明的第二实施方式的带电粒子线装置的整体结构图。

图3是作为本发明的第二实施方式的薄膜的周边部的详细图的一个例子。

图4是表示具备作为本发明的第二实施方式的薄膜的薄膜保持部的第一例的图。

图5是表示具备作为本发明的第二实施方式的薄膜的薄膜保持部的第二例的图。

图6是表示具备作为本发明的第二实施方式的薄膜的薄膜保持部的第三例的图。

图7是在薄膜保持部与薄膜保持部支撑体之间具备作为本发明的第二实施方式的固定部件的图。