[发明专利]辐射源和光刻设备

权利要求书

1.一种辐射源的燃料液滴束流生成装置，包括：

燃料液滴发射器，连接至调制电压源，所述调制电压源配置成施加第一电压至燃料液滴束流的第一部分并施加第二电压至燃料液滴束流的第二部分，

第一电极，位置靠近燃料液滴发射器，

第二电极，位置远离燃料液滴发射器，和

电压源，配置成在第一和第二电极之间施加电势差并由此在第一和第二电极之间生成电场，该电场施加减速作用力至燃料液滴束流的第一和第二部分中的一个部分并施加加速作用力至燃料液滴束流的第一和第二部分中的另一个部分。

2.如权利要求1所述辐射源，其中第一和第二电压相对于第一电极所保持的电压分别是正的和负的。

3.如权利要求1或2所述的辐射源，其中第一电极被保持在零电势。

4.如权利要求1-3中任一项所述的辐射源，其中第一和第二电极之间的电势差是基本恒定的。

5.如前述权利要求任一项所述的辐射源，其中在施加第一电压和第二电压之间的时间段，不对液滴束流施加电压。

6.如前述权利要求任一项所述的辐射源，其中第一电压相对于被施加至第一电极的电压的幅值与第二电压相对于被施加至第一电极的电压的幅值相同。

7.如权利要求1-5中任一项所述的辐射源，其中第一电压相对于被施加至第一电极的电压的幅值与第二电压相对于被施加至第一电极的电压的幅值不同。

8.如前述权利要求任一项所述的辐射源，其中第一电压和第二电压被施加相同的时间段。

9.如前述权利要求任一项所述的辐射源，其中第一电压和第二电压被施加不同的时间段。

10.一种辐射源的燃料液滴束流生成装置，包括：

燃料液滴发射器；

电极，位置靠近通过发射器形成的液滴的形成点，和

电压源，配置成在发射器和电极之间施加交变的电压，

由此在束流中的交替的液滴被给予交变的符号的电荷。

11.如权利要求10所述的辐射源，其中在液滴的序列中，每隔一个液滴上的电荷的幅值增加。

12.如权利要求11所述的辐射源，其中在液滴的序列之后，在下一个序列之前存在不施加电压的时间段。

13.如权利要求10至12中任一项所述的辐射源，其中交变的电压的施加与液滴的形成同步。

14.一种辐射源的燃料液滴束流生成装置，包括：

燃料液滴发射器，

电极，和

电压源，所述电压源配置成在发射器和电极之间施加交变的电压，

由此形成具有相反的电符号或相同符号且不同幅值的液滴束流，并且它们被朝向电极加速或减速，由此促进液滴的聚结。

15.如权利要求14所述的辐射源，其中恒定电压被附加地施加至发射器。

16.一种辐射源的燃料液滴束流生成装置，包括：

燃料液滴发射器，

电极，和

调制电压源，所述调制电压源连接至发射器，用于控制发射器和电极之间的液滴的相对速度，

由此，促进较小的液滴聚结为较大的液滴。

17.如权利要求16所述的辐射源，其中通过在电场中提供具有相反电荷的不同的液滴来控制液滴的相对速度。

18.如权利要求16或17所述的辐射源，其中液滴的相对速度还通过为不同液滴提供不同幅值的电荷来控制。

19.如权利要求16所述的辐射源，其中液滴的相对速度通过调制电场来控制。

20.一种光刻设备，包括：

如权利要求1至19中任一项所述的辐射源，

照射系统，配置成调节辐射束，

支撑结构，构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够在辐射束的横截面上将图案赋予辐射束以形成图案化的辐射束，

衬底台，构造成保持衬底，和

投影系统，配置成将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上。

21.一种促进从燃料液滴发射器发射的辐射源的燃料液滴的聚结的方法，包括通过对发射器施加调制电压来控制束流中液滴的相对速度的步骤。