[发明专利]超精密复合加工装置中的加工机构的判断方法及超精密复合加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及在超精密复合加工装置中判断加工机构的方法及超精密复合加工装置。更详细地，本发明涉及用于通过超精密复合加工从被加工件获得微细加工物的超精密复合加工装置及判断该装置的加工机构的方法。

背景技术

在一般工业领域中，从以前起就进行将金属、木材或塑料等原材料局部地削掉并做成所期望的形状的工作机械加工。例如，通过实施车削、铣削、刨削等切削加工，能够做成所期望的产品、部件。

在需要大量生产复杂的产品、部件的情况下，一般通过机械加工制造成形用的模具等，并使用该模具制造各种成形品。尤其是近年来，电气及电子设备逐年小型化及高性能化，对于其中使用的部件等当然要求小型化、高性能化。因此，对于用于使应对这种小型化、高性能化的各种部件、产品成形的模具，也要求与该小型化相称的精度。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-225947号公报

专利文献2：日本特开2001-79854

发明的概要

发明要解决的课题

然而，在制造应对近年来的小型化的模具产品的情况下，仅仅沿袭以往的机械加工的话，不能说完成了充分满足的应对。例如，在对超硬材料、淬火钢等难削件进行切削加工来获得模具产品的情况下，不仅加工工具的寿命缩短而引起制造成本的增加，而且加工时间变长。越是模具产品小型化乃至微细化，该情况变得越显著。因此，现实中，不得不变更成形品的形状（即，模形状、作为目的的商品形状）。

虽然也考虑恰当地选择切削加工工具的种类，但切削加工说到底是由于与被削件的接触而进行削掉的加工，所以工具的寿命变短并未改变，此外，加工需要庞大的时间。也考虑进行激光加工等非接触加工，但鉴于激光加工是被削件吸收激光引起的发热加工，所以不适于高精度的加工（尤其是，对于要求面粗度精度、形状精度的微细产品而言，一般无法使用）。

在此，也考虑在切削加工时依次使用多个加工机构，但根据应当加工的形状，存在仅按所规定执行预先确定的加工顺序的话不能说是有效的情况。例如，考虑到根据加工形状·加工部位，不实施当初确定的前段的加工机构而直接使用后段的加工机构更能够实现加工时间的整体的缩短的情况。然而，人介入来进行这种判断后，变得复杂。也考虑预先制作加工数据，但存在可能依赖于各种加工形状·加工部位的要素，因此同样地变得复杂，数据制作耗费的时间变长。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做出的。即，本发明的课题在于，提供对小型产品（尤其是具备微细构造部的微细产品）的制造而言适当的加工装置中的加工机构的判断方法，并且提供具备具有能够进行该判断的加工用数据的系统的超精密复合加工装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，在本发明中，提供的一种在从被加工件制造微细加工物的超精密复合加工装置中判断加工机构的方法，其特征在于，

超精密复合加工装置具有：

用于粗削被加工件的电磁波加工机构（即，电磁波加工器件）；

用于对粗削过的被加工件施行精密加工的精密机械加工机构（即，精密机械加工器件）；以及

用于在电磁波加工机构及精密机械加工机构的使用时对被加工件的形状进行测量的形状测量机构（即，形状测量器件），

在加工机构的判断中，基于

微细加工物的立体形状模型的信息；

与在微细加工物的制造时从被加工件去除的去除体积有关的信息；以及

“与电磁波加工机构的去除加工时间有关的数据”及“与精密机械加工机构的去除加工时间有关的数据”，

进行是使用电磁波加工机构或者是使用精密机械加工机构的判断。

在某优选的方式中，使用与被加工件的最终形状有关的三维CAD数据进行加工机构的判断的前处理，在该前处理中，

制作从被加工件的最终形状的各面偏移了指定量的偏移面，根据该偏移面是否位于被加工件的最表面高度的内侧，判断是否实施电磁波加工机构。

优选的是，在位于被加工件的最表面高度的内侧的偏移面存在的情况下，提取以该位于最表面内侧的偏移面和最表面高度所包围的区域作为“暂定的电磁波加工部”。

此外，优选的是，关于所获得的“暂定的电磁波加工部”，将其形状与电磁波加工机构的可加工形状数据库进行比较，由此判断是否应当实施电磁波加工机构。