[发明专利]用于检查平板的方法有效
| 申请号： | 201280045201.2 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103858001B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 孙载镐;李贤玟;姜珉求;李相允;林双根 | 申请（专利权）人： | 英泰克普拉斯有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01B11/30;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 陈炜,李德山 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 检查 平板 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于检查平板的方法，所述方法包括：
通过水平地移动所述平板和照相机中的至少一个而在所述平板的测量位置处布置所述照相机；
在所述测量位置处通过自动聚焦模块将所述照相机自动地聚焦到所述平板的待测量目标上；
通过基于所述照相机的当前位置而在设定区域内垂直地移动被聚焦的照相机来获取所述待测量目标的多个图像；
在多个所获取的图像当中选择具有最高清晰度的图像，以处理所选择的图像；以及
确定所述待测量目标是否有缺陷，
其中所述设定区域中的拍摄间隔距离宽于所述自动聚焦模块的可重复性距离，并且在所获取的多个图像之间的拍摄间隔距离窄于所述自动聚焦模块的可重复性距离。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述获取多个图像包括通过压电致动器垂直地移动所述照相机。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述待测量目标是形成在所述平板中的像素电路图案；以及
所述确定所述待测量目标是否有缺陷包括：对所选择的图像的所述电路图案的图案宽度和/或线宽进行测量，以及将所测量的所述电路图案的图案宽度和/或线宽与参考值进行比较，以确定所述电路图案是否有缺陷。
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