[发明专利]用于检查平板的方法

说明书

技术领域

下面的描述涉及一种用于检查平板的方法，并且更特别地涉及一种用于检查像素电路图案的方法。

背景技术

作为一种平板类型的液晶显示器（LCD）具有以低功耗在低电压下工作以及以紧凑尺寸显示全部色彩范围的特征。LCD已经越来越多地用于更广泛的应用，这些应用的范围从手表、计算器、PC监视器和膝上型电脑到电视、用于航空的监视器、个人便携装置和移动电话。

这种LCD面板包括形成有滤色片和薄膜晶体管（TFT）的两个玻璃衬底，以及填充在两个玻璃衬底之间的液晶。薄膜晶体管调整液晶并且控制像素，其中，薄膜晶体管是将半导体膜形成到玻璃衬底上的电路，而像素是构成图像的最小单位。通过在玻璃衬底上涂覆红（R）、绿（G）和蓝（B）三种颜色的像素来形成滤色片，并且滤色片用作产生图像。

在制造这种LCD面板之后进行各种质量检查，其中一个重要的检查是对形成在各像素中的电路图案的测试，例如，通过对尺寸（诸如TFT的信号线和电极线的线宽，或电路图案宽度）进行测量来检查任意缺陷。测量线宽是很重要的，这是因为线宽对粘合强度和电阻值有影响，而后者影响了每个像素的性能。

如下所述进行一种测量线宽的常规方法：将诸如照相机的摄影设备移动到LCD面板的测量位置以拍摄像素电路图案的图像；以及将所拍摄的图像输入到测量控制单元，然后测量控制单元处理所输入的图像以测量像素电路图案。

在LCD面板中，将红（R）、绿（G）和蓝（B）三种颜色的像素组合以产生全色图像。因为像素取决于其颜色而具有不同的波段，所以出现了下述问题：当一种颜色的像素可以获得清晰的图像时，其他颜色的像素的图像可能较不清晰。此外，由于玻璃衬底中的微小弯曲，导致图像质量可取决于测量位置而不同。

为此，使用通过将自动聚焦模块添加到照相机而拍摄图像的方法，其中针对每种颜色来对像素自动地聚焦。然而，由于自动聚焦模块的可重复性限制，导致不能容易地获得每个像素的清晰图像。另外，随着LCD面板的分辨率变高并且每个像素的电路图案被小型化，仅通过使用自动聚焦模块可能不能准确地测量线宽。关于用于测量线宽的设备，韩国专利公开10-0521016（2003年7月28日公开）公开了这样一种设备。

发明内容

技术问题

本公开内容的一个目的是提供一种用于检查平板的方法，该方法提高了确定待测量目标中的缺陷的准确性。

技术方案

根据示例性实施方式，公开了一种用于检查平板的方法，该方法包括:通过水平地移动所述平板和照相机中的至少一个而在所述平板的测量位置处布置所述照相机；将所述测量位置处的所述照相机自动地聚焦到所述平板的待测量目标上；通过基于所述照相机的当前位置而在设定区域内垂直地移动被聚焦的照相机来获取所述待测量目标的多个图像；在多个所获取的图像当中选择具有最高清晰度的图像以处理所选择的图像；以及确定所述待测量目标是否有缺陷。

本发明的效果

在用于检查平板的方法中，在照相机自动聚焦到待测量目标上之后，通过在设定区域内垂直地移动照相机来获取图像，并且在所获取的图像当中，仅提取具有最高清晰度的图像来使用。因此，与通过使用在仅自动聚焦而不移动照相机的情况下捕捉的图像来确定缺陷的情形相对比，可以进一步提高确定待测量目标中的缺陷的准确性。

附图说明

图1是示出了由根据示例性实施方式的用于检查平板的方法进行操作的检查装置的示例的框图。

图2是示出了根据图1中的示例性实施方式的利用在测量位置处的照相机来获取图像的示例方法的图。

具体实施方式

下文中将参照附图对本发明进行更详细的描述，在附图中示出了本发明的示例性实施方式。首先，当对附图的元件添加附图标记时，应注意，尽管在不同的附图中示出相似的元件，如果可能的话也采用相似的附图标记来表示相似的元件。另外，在本发明的描述中，如果确定关于本发明的常用配置或功能的详细描述可能会不必要地模糊本发明的主题，那么将省略这种详细描述。在附图中，图中的元件的形状和大小可能为了清楚起见而被放大。

下文中，将参照附图来详细描述用于检查平板的方法。

图1是示出了由根据示例性实施方式的用于检查平板的方法进行操作的检查装置的示例的框图。此外，图2是示出了根据图1中的示例性实施方式的利用在测量位置处的照相机来获取图像的示例方法的图。

参照图1和图2，如下所述执行根据示例性实施方式的用于检查平板的方法：