[发明专利]用于真空处理设备的旋转台滑架

权利要求书

1.一种真空处理设备，具有真空室（303）和带有旋转台（205）的旋转台滑架（201），其中所述真空室（303）具有门（305）和旋转台驱动装置（101），其特征在于，所述旋转台驱动装置（101）是圆周驱动，它在门（305）对面的真空室（303）的壁体上和/或壁体附近位于壁体里面。

2. 如权利要求1所述的真空处理设备，其特征在于，在真空室里面设有至少一后端止挡（309）和至少一前端止挡（311），它们负责，在旋转台滑架（201）完全插入到真空室（303）里面和门（305）关闭时使旋转台驱动装置（101）与旋转台（205）准备驱动地功能连接。

3. 如权利要求2所述的真空处理设备，其特征在于，所述旋转台驱动装置（101）包括齿环（103），并且所述旋转台（205）包括外部的齿环（207），在旋转台滑架（201）完全插入到真空室（303）里面和门（305）关闭时使旋转台驱动装置的齿环（103）啮合到旋转台（205）的外部齿环（207）里面。

4. 如权利要求2或3所述的真空处理设备，其特征在于，至少一前端止挡（311）活动地、最好可摆动地构成，它在旋转台滑架（201）导入时可以从路径中转出来并且在关闭门（305）时至少一前端止挡（311）可以定位在门（305）与旋转台滑架（201）之间，由此使旋转台滑架（201）固定在真空室（303）里面。

5. 一种用于在真空处理设备里面处理工件的方法，具有步骤：

-使配有工件支架的旋转台滑架（201）安装要处理的工件，

-定位配有工件支架的旋转台滑架（201）在移动车（203）的轨道上，

-使以旋转台滑架（201）和要处理的工件加载的移动车（203）移动靠近敞开了的门（305）的真空处理设备，

-将旋转台滑架（201）插入到真空处理设备里面，

-关闭真空处理设备，泵浦真空室并执行真空处理步骤，

其特征在于，在关闭真空处理设备时利用位于真空处理设备里面的止挡（309,311）固定旋转台滑架（201），使旋转台滑架（201）的旋转台（205）与在真空处理设备中位于门（305）对面壁体上和/或壁体附近的旋转台驱动装置（101）功能连接。