[发明专利]用于真空处理设备的旋转台滑架

说明书

技术领域

本发明涉及一个真空处理设备，具有工件支架，其中该工件支架设计成这样的旋转台，使要被处理的工件在处理过程期间在处理源旁边经过，通过使旋转台围绕其轴线旋转。在此将工件这样装配在旋转台上，使它们在旋转台旋转时执行一次旋转或多次旋转、即例如两次或三次旋转。按照现有技术旋转台一般通过其中心轴驱动。

背景技术

在真空处理设备中处理工件之前必需使工件支架配有工件。在处理之后必需从工件支架中取出工件。这可以直接在真空处理设备上进行。但是为了简化工件的安装和取出已知，使旋转台这样装配在真空室里面，为了安装工件和取出处理的工件可以从真空室中整体取出旋转台。这例如通过装卸机实现。

按照另一专业人员公知的方案，使旋转台定位在具有轮子的底座上，可以由一个移动靠近真空处理设备的移动车将旋转台推到真空处理设备里面。下面将这种配有轮子的旋转台称为旋转台滑架。在真空处理设备里面固定旋转台滑架的底座并且使中心驱动装置连接在旋转台的轴上。在此缺陷是，为此需要复杂的连接机构，因为一方面为了将旋转台推入到真空处理设备里面驱动装置不能位于路径上，另一方面为了驱动旋转台必需将驱动装置嵌入到旋转台的中心轴里面。要考虑的是，整个机构必需以适合于真空的形式构成。

发明内容

因此期望提供一个装置供使用，通过它能够简单地连接旋转台到旋转台驱动装置上。这是本发明的目的。

按照本发明这个目的由此实现，对于旋转台不选择中心的驱动装置，而是选择通过其周边或者说通过旋转台圆周的驱动装置。按照本发明在面对真空处理设备开孔的对面一侧上设有驱动装置，并且包括例如一齿轮，在旋转台滑架完全插入到真空处理设备里面以后，该齿轮啮合到位于旋转台圆周上的齿环里面，由此所述齿轮能够通过齿环驱动旋转台。

附图说明

下面借助于示例和附图详细解释本发明。

图1示出按照本发明装置的俯视图，具有插入的旋转台滑架和封闭的门，

图2示出以旋转台滑架加载的移动车的俯视图，

图3示出在图2中所示的移动车，它移动靠近敞开的真空室，

图4示出移动到真空室一半路径上的旋转台滑架。

具体实施方式

按照本发明的优选实施例在真空室里面设有轨道，在其上可以滚动地导引车轮。

在图2中示出移动车203上的旋转台滑架201。旋转台滑架201包括旋转台205和底座207。旋转台205包括具有外齿环211的转台209，通过齿环可以驱动旋转台205。按照本实施例旋转台205还包括齿轮系统213，在其上装配用于加载工件的工件支架（未示出）。底座207包括轮子215，它们由适合于真空的材料成形。最好由陶瓷材料成形轮子，其结果是，即使它们有时在覆层过程期间处于材料覆盖，也能长时间无维护地满足其功能。

在移动车203上设有两个轨道217，在其上可以移动旋转台滑架的轮子215。两个轨道分别通过合页219中断，由此使它们可以向上翻起。在这样产生的翻起上最好设有用于操纵翻起的把手221。在轨道217的另一端上设有移动车止挡225。在移动车上此外设有轮子223，使这个移动车203以简单的方式和方法可以移动到真空室。这在图3中示出。为了更清晰，省去一些移动车201和旋转台滑架203的附图标记。在图3中所示的真空室303以敞开的门305示出。移动车201这样推到真空室303附近，在向下翻时使轨道端部连接在位于真空室里面的对应体、即真空室轨道307上，由此使旋转台滑架201可以移动到真空室303里面。在图4中示出相应的“驶入”。在真空室轨道上设有后端的止挡309和前端的止挡311。前端的止挡311可摆动地构成，它们在移动车203移动靠近敞开的真空室303时并且在旋转台滑架201进入到真空室303里面时不会闭锁路径。如果旋转台滑架201完全移动到真空室303里面，则旋转台滑架的外部齿环211啮合在位于门305对面的壁体里面的旋转台驱动装置101的齿环103里面。止挡309负责，使旋转台滑架102的齿环103与旋转台205的齿环211不太多地相互啮合。为了关闭真空室303现在使前端的止挡311旋转并且关闭门305。在门305关闭时门在前端止挡311上的压力负责，使前端止挡顶压旋转台滑架，由此使旋转台驱动装置101的齿环103与旋转台205的齿环211足够多地相互啮合。即，按照这个实施例门305、前端止挡311、旋转台滑架201、后端止挡309的交互作用负责旋转台驱动装置101的齿环103与旋转台205的齿环211的最佳功能连接，用于可以驱动旋转台。