[发明专利]用于改变堆叠的间距的装置

权利要求书

1.一种装置，其用于改变被并置为在相邻的工件之间具有预定间距的堆叠形式的多个薄工件的间距，

其特征在于；

其包括可动托架单元以及驱动该可动托架单元的驱动单元；

可动托架单元包括多个基板，其被并置为具有预定间距的堆叠形式，

每一个所述基板包括操作构件，其支撑工件，操作构件由从连通通道所供给的驱动力驱动以单独地保持工件；

每一个所述基板包括可旋转的可变垫片，其与驱动单元的传动轴联锁，基板之间的间距通过可变垫片的旋转变得可变；以及

当工件被每一个所述基板保持时，气密的、可膨胀的连通通道被形成于基板之间并且与操作构件相连通。

2.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中所述连通通道由可膨胀弹性填料形成，可膨胀弹性填料被串联安装于相邻基板的通孔之间。

3.根据权利要求2所述的堆叠间距改变装置，其中每一个所述弹性填料随着每一个所述基板移动。

4.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中每一个所述可变垫片随着每一个所述基板移动。

5.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其特征进一步在于，其中每一个所述基板设置有弹簧，其用于释放所述基板之间的固定间距。

6.根据权利要求2所述的堆叠间距改变装置，其中所述弹性填料被形成为类似波纹管。

7.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中所述可变垫片具有形成于其圆周表面的具有不同厚度的不同部分，所述基板之间的间距可通过旋转所述可变垫片而被改变以致所述基板与不同厚度的其它部分相接触。

8.根据权利要求5所述的堆叠间距改变装置，其中在固定基板侧的所述弹簧具有用于恢复收缩的基板的弹簧力，其大于可动基板侧的所述弹簧的弹簧力。

9.根据权利要求8所述的堆叠间距改变装置，其中对于每一预定数量的基板来说，所述弹簧力被设置为朝向所述可动基板逐步减小。

10.根据权利要求8所述的堆叠间距改变装置，其中所述弹簧力被设置为朝向所述可动基板线性减小。

11.根据权利要求5所述的堆叠间距改变装置，其中所述弹簧包括单个弹簧。

12.根据权利要求5所述的堆叠间距改变装置，其中所述弹簧包括一叠复数弹簧。

13.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中设置有检测单元，其用于检测所述工件的情况，例如在吸附所述工件时的断裂或损伤。

14.根据权利要求13所述的堆叠间距改变装置，其中所述检测单元包括开/关阀，其被安装于所述连通通道的入口处，用于打开和关闭连通通道；节流孔，其被安装于所述开/关阀并且与真空压力检测通路相连通；以及传感器，其被连接至真空压力检测通路，以致在驱动力被输入所述连通通道并且开/关阀随后被关闭之后，所述连通通道中的压力改变被检测。

15.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中所述操作构件包括吸盘，其吸附所述工件。

16.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中所述操作构件包括夹紧构件，其夹住所述工件。

17.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中所述基板被分成组，每组包括预定数量的所述基板。

18.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中每一个所述基板设置有一对所述操作构件，并且每一个所述基板设置有一对连通通道，其与所述可变垫片和操作构件相连通。

19.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中操作构件支撑工件的垂直于堆叠方向伸展的表面。

20.根据权利要求1所述的堆叠间距改变装置，其中操作构件支撑工件的沿着堆叠方向伸展的表面。

21.一种吸盘，其在用于改变堆叠的间距的装置中用作保持工件的工具，其特征在于，气密的、可膨胀连通通道被形成于基板之间。