[发明专利]表面具有微细凹凸结构的构件的检查装置及检查方法、表面具有阳极氧化铝层的构件的制造方法、以及光学薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，其是构件的检查装置，所述构件是表面具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该装置具备：

照射单元，对检查对象的构件照射照射光；

摄像单元，对由所述构件反射的反射光进行拍摄；

偏振单元，使所述照射光或朝向该摄像单元入射的所述反射光偏振；以及

图像处理单元，基于由使用所述摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断所述构件的表面状态是否良好。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述偏振单元是以偏振方向相对于与所述摄像单元的光轴和所述构件的表面接触的点处的切面相垂直的方向为-50°～50°的方式配置的。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述偏振单元是以偏振方向相对于与所述摄像单元的光轴和所述构件的表面接触的点处的切面相平行的方向为-50°～50°的方式配置的。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述图像处理单元判断所述构件的表面处的脱模剂的附着状态。

5.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述图像处理单元制作能够判断所述构件的流痕的状态的输出。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的构件的检查装置，其中，所述构件是表面形成有具有微细凹凸结构的阳极氧化铝层的构件。

7.根据权利要求6所述的检查装置，其中，所述图像处理单元判断所述阳极氧化铝层的微细凹凸结构的状态。

8.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述摄像单元是以其光轴与所述构件的表面的法线成45°以上且小于90°的角度配置的。

9.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述摄像单元输出RGB图像信号作为所述颜色信息，

所述图像处理单元基于所述RGB图像信号来判断所述构件的表面状态。

10.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述摄像单元输出RGB图像信号作为所述颜色信息，

所述图像处理单元具有将所述RGB图像信号转换为HSL表色系统信息的转换部，基于该HSL表色系统信息来判断所述构件的表面状态。

11.一种检查方法，其特征在于，其是构件的检查方法，所述构件是表面具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该方法具备：

照射步骤，对检查对象的所述构件照射照射光；

摄像步骤，对由所述构件的表面反射的反射光进行拍摄；

利用偏振单元使所述照射光或要被拍摄的所述反射光偏振；所述方法还具备：

图像处理步骤，基于由拍摄出的图像获得的颜色信息来判断所述构件的表面状态是否良好。

12.根据权利要求11所述的检查方法，其中，所述偏振方向相对于与所述摄像单元的光轴和所述构件接触的点处的切面相垂直的方向成-50°～50°。

13.根据权利要求11所述的检查方法，其中，所述偏振方向相对于与所述摄像单元的光轴和所述构件接触的点处的切面相平行的方向成-50°～50°。

14.根据权利要求11所述的检查方法，其中，在所述图像处理步骤中，判断所述构件的表面处的脱模剂的附着状态。

15.根据权利要求1所述的检查方法，其中，在所述图像处理步骤中，制作能够判断所述构件的流痕的输出。

16.根据权利要求11～15中任一项所述的构件的检查装置，其中，所述构件是表面形成有具有微细凹凸结构的阳极氧化铝层的构件。

17.根据权利要求16所述的检查方法，其中，在所述图像处理步骤中，判断所述阳极氧化铝层的微细凹凸结构的状态。

18.根据权利要求11所述的检查方法，其中，所述摄像单元是以其光轴与所述构件的表面的法线成45°以上且小于90°的角度配置的。

19.根据权利要求11所述的检查方法，其中，

所述摄像单元输出RGB图像信号作为所述颜色信息，

在所述图像处理步骤中，基于所述RGB图像信号来判断所述构件的表面状态。