[发明专利]形状检查方法及其装置

权利要求书

1.一种三维形状检查装置，其特征在于，具备：

取得检查对象的第一形状数据的第一三维形状传感器；

取得所述检查对象的与所述第一形状数据不同的第二形状数据的第二三维形状传感器；和

对所述第一形状数据和所述第二形状数据进行校正、整合的互补整合部。

2.如权利要求1所述的三维形状检查装置，其特征在于，具备：

存储作为检查对象的参考模型的形状数据的参考数据的存储部；和

根据所述参考数据来确定取得所述第一形状数据的区域的区域确定部。

3.如权利要求1所述的三维形状检查装置，其特征在于：

具备对由所述互补整合部整合后的整合数据和所述参考数据进行定量评价的不良定量化部。

4.如权利要求1所述的三维形状检查装置，其特征在于：

所述第一三维形状传感器是计测三维形状的点群的点群计测传感器，所述第二三维形状传感器是将三维形状作为二维的图像数据来取得的二维摄像机。

5.如权利要求1所述的三维形状检查装置，其特征在于：

所述第一三维形状传感器是计测三维形状的点群的点群计测传感器，所述第二三维形状传感器是根据多个不同的偏振信息来计测三维形状的偏振摄像机。

6.如权利要求2所述的三维形状检查装置，其特征在于：

所述存储部将根据检查对象自身所具有的类似性导出的自参考形状数据作为参考数据来存储。

7.如权利要求1所述的三维形状检查装置，其特征在于：

具备使所述检查对象旋转的θ载物台，

所述第二三维形状传感器取得通过使所述θ载物台旋转而得到的多个形状数据。

8.如权利要求7所述的三维形状检查装置，其特征在于：

具备从多个方向对所述检查对象照射照明光的照明部，

所述第二三维形状传感器取得通过由所述照明部从不同的方向照射照明光而得到的多个形状数据。

9.如权利要求3所述的三维形状检查装置，其特征在于：

具备判定部，所述判定部根据由所述不良定量化部得到的形状不良值、和实验值或模拟值来进行所述检查对象的形状异常的判定。

10.如权利要求9所述的三维形状检查装置，其特征在于：

所述判定部使用所述照明部的位置、所述二维摄像机的位置、所述检查对象的倾斜度中的任意个作为特征量来进行形状异常的判定。

11.如权利要求1所述的三维形状检查装置，其特征在于：

所述互补整合部根据由所述第一三维形状传感器得到的点群中的法线矢量和由所述第二三维形状传感器得到的点群中的法线矢量来进行加权，对所述第一形状数据和所述第二形状数据进行整合。

12.如权利要求1所述的三维形状检查装置，其特征在于：

所述互补整合部使用由所述第一三维形状传感器得到的点群中的法线矢量和由所述第二三维形状传感器得到的点群中的法线矢量，对所述第一形状数据和所述第二形状数据进行校正。

13.一种三维形状检查方法，其特征在于：

取得第一形状数据，

取得所述检查对象的与所述第一形状数据不同的第二形状数据，

对所述第一形状数据和所述第二形状数据进行整合。

14.如权利要求13所述的三维形状检查方法，其特征在于：

读取作为检查对象的参考模型的形状数据的参考数据，

根据所述参考数据来确定取得第一形状数据的区域，

对于已确定的区域取得所述第一形状数据，

对于所述已确定的区域以外的区域取得所述检查对象的与所述第一形状数据不同的第二形状数据。

15.如权利要求14所述的三维形状检查方法，其特征在于：

对整合后的整合数据和所述参考数据进行定量评价。

16.如权利要求13所述的三维形状检查方法，其特征在于：

所述第一形状数据是三维形状的点群，所述第二形状数据是由二维摄像机拍摄的图像。

17.如权利要求13所述的三维形状检查方法，其特征在于：

所述第一形状数据是三维形状的点群，所述第二形状数据是由偏振摄像机拍摄的图像。