[发明专利]形状检查方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如加工品和加工工具的形状检查方法和检查装置。

背景技术

为了确保制造中的加工及组装中的产品的品质，要求不受目视检查员的技能所影响的能够定量地对制造工艺进行反馈的加工工具、产品的形状及表面状态检查技术。

专利文献1中提出了在通过激光扫描广泛地进行三维形状测定的三维形状测定中，即使三维形状带有色彩或阴影，也通过以反射光量恒定的方式调整激光光量而实施精度良好的三维形状测定。

此外，专利文献2中，记载了对于表示用光切断法计测的测定对象物的形状的测定点数据和基准点数据基于逐次逼近处理进行对齐，基于对齐后的测定点数据和基准点数据来评价测定对象物的形状的物体形状评价装置。对齐处理中，基于相邻的测定点之间的相邻点间距离或相邻的基准点之间的相邻点间距离来决定相邻点间距离加权系数，该相邻点间距离加权系数在求出逐次逼近处理中的逐次逼近评价值时使用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-204425

专利文献2：日本特开2010-107300

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，即使如专利文献1、2一般用单一的三维形状测定方法进行三维形状测定，例如测定对象的形状中包括锐角、陡峭的面的情况下，也难以确保计测精度。

于是，本发明鉴于上述问题点，目的在于提供一种三维形状检查方法及其装置，其通过互补地组合多种三维形状计测法、表面计测方法，而不受测定对象的形状影响地确保高的计测精度。

用于解决技术问题的手段

为了解决上述技术问题，本发明提供一种三维形状检查装置，其特征在于，具备：取得检查对象的第一形状数据的第一三维形状传感器；取得上述检查对象的与上述第一形状数据不同的第二形状数据的第二三维形状传感器；和对上述第一形状数据和上述第二形状数据进行校正、整合的互补整合部。

此外，其他观点的本发明提供一种三维形状检查方法，其特征在于：取得第一形状数据；取得上述检查对象的与上述第一形状数据不同的第二形状数据；对上述第一形状数据和上述第二形状数据进行整合。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种三维形状检查方法及其装置，其通过组合多种三维形状计测法、表面计测方法，而不受测定对象的形状影响地确保高的计测精度。

附图说明

图1是表示本发明的实施例1的三维形状检查装置的结构的框图。

图2是表示本发明的实施例1的互补整合的流程的流程图。

图3是表示本发明的实施例1的样品和面的方向的图。

图4是表示本发明的实施例1的点群数据与图像数据的整合流程的流程图。

图5是表示本发明的实施例1的点群数据与图像数据在特征点上对齐的图。

图6是表示本发明的实施例1的互补整合的流程的流程图。

图7是表示本发明的实施例1的互补整合的流程的流程图。

图8是表示本发明的实施例1的样品的类似性的图。

图9是表示本发明的实施例1的用自参考形状数据进行的形状量化的流程图。

图10是表示本发明的实施例1的自参考形状数据的导出方法的图。

图11是表示本发明的实施例1的用平均形状数据进行的形状量化的流程图。

图12是表示本发明的实施例1的平均形状数据的导出方法的图。

图13是表示本发明的实施例1的使用自参考形状数据和CAD数据的形状不良定量化的流程的流程图。

图14是表示本发明的实施例1的使用自参考形状数据和平均形状数据的形状不良定量化的流程的流程图。

图15是表示本发明的实施例1的根据用二维相机图像拍摄的样品表面的正常部与缺陷部的特征量的不同检测缺陷的图。

图16是表示本发明的实施例1的根据用二维相机图像拍摄的样品表面的正常部与缺陷部的特征量的不同检测缺陷的流程的流程图。

图17是表示本发明的实施例1的导出开孔加工工具的影响度的流程的流程图。

图18是表示本发明的实施例1的开孔加工工具的检查参数的图。

图19是表示本发明的实施例1的显示检查结果的GUI的图。

图20是表示本发明的实施例2的三维形状检查装置的结构的框图。

图21是表示本发明的实施例3的距离计测传感器的检查流程的流程图。

图22是表示本发明的实施例3的立体法的检查流程的流程图。