[发明专利]配线检查方法和配线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及适用于在例如液晶显示装置、有机EL显示装置所用的有源矩阵基板或者如太阳电池面板等那样形成有多个配线的基板中检测配线的短路缺陷的配线检查方法和配线检查装置。

背景技术

一般来说，有源矩阵基板或者形成有多个配线的基板被用于液晶显示装置、有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置、太阳电池面板等各种产品领域。例如，液晶显示装置具有作为形成有多个配线、图像元素电极和开关元件等的一方基板构件的有源矩阵基板以及作为形成有相对电极、彩色滤光片的另一方基板构件的彩色滤光片基板。将上述2个基板隔开间隔贴合，在间隙中注入液晶材料来形成液晶层后，安装周边电路部件来制造液晶显示装置。

有源矩阵基板在其制造工序中，有时会产生基板上的配线的断线、短路等缺陷。该缺陷是液晶显示装置的显示缺陷的原因。为了减少液晶显示装置的显示缺陷等不合格，在上述注入液晶材料的工序以前需要检测有源矩阵基板的缺陷并进行修复。

图8是专利文献1公开的配线图案的检查装置。专利文献1的检查装置利用通电电极61对形成在基板50上的配线图案53通电，由配线图案53的发热来产生红外线，用红外线传感器63拍摄其红外线图像，对拍摄信号进行图像处理，与规定的基准图像数据对比，由此检查配线图案53是否合格。例如，在图8的A部，配线发生断线而不流通电流，因此包括A部的配线53不发热。另外，在图8的B部，配线发生短路，在短路部也流通电流，因此从配线53以外的部分也会产生红外线。

另外，图9是专利文献2公开的有源矩阵基板的检查装置。专利文献2的检查装置检测在有源矩阵基板的扫描线81～85和信号线91～95的交叉点产生的短路缺陷73。

有源矩阵基板的扫描线81～85与信号线91～95之间被绝缘，如果是正常的，则即使对扫描线81～85与信号线91～95之间施加电压也不会流通电流。而例如当在扫描线83与信号线93之间存在短路缺陷73时，通过短路缺陷73在扫描线83与信号线93之间流通电流，产生发热而放出红外线。

因此，对扫描线81～85与信号线91～95之间施加电压，拍摄红外线图像，能根据发热区域的有无检测短路缺陷的有无来判别合格，或者检测短路缺陷73的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国公开专利公报“特开平11-337454号公报”

专利文献2：日本国公开专利公报“特开平6-51011号公报”

发明内容

发明要解决的问题

然而，根据专利文献1、专利文献2公开的采用现有的红外线图像的检查方法，当在配线和短路缺陷部中流通电流而发热时，由于热传导而在其附近的区域也会温度上升而产生红外线。因此，在配线数比较少的情况下能根据发热区域确定短路缺陷部的位置，但是在如高分辨率的液晶电视等这样配线数多、配线致密形成的基板中，在检测出的发热区域中也会与短路缺陷部一起包括正常的配线、配线交叉部等，短路缺陷部被掩盖在发热区域中，因此根据现有的检查，存在无法准确地确定短路缺陷部的位置的问题。

本发明的目的在于，拍摄多个红外线图像，提取适于确定缺陷位置的图像，准确地确定短路缺陷部的位置。

用于解决问题的方案

本发明的配线检查方法是检查形成于基板的配线有无短路缺陷部的配线检查方法，其特征在于，包括：发热工序，对配线施加电压来使短路缺陷部发热；图像取得工序，拍摄基板来取得多个时刻各自的红外线图像；发热区域识别工序，使用规定时刻的红外线图像来识别发热区域；发热区域判断工序，判断能否根据发热区域确定短路缺陷部的位置；以及缺陷位置确定工序，根据发热区域确定短路缺陷部的位置，而且，当在发热区域判断工序中判断为无法确定短路缺陷部的位置时，发热区域识别工序使用与规定时刻不同的其它时刻的红外线图像来识别发热区域。

另外，其特征在于，发热区域判断工序算出评价发热区域的大小的特征量，当特征量处于规定的范围内时，判断为能确定短路缺陷部的位置。

另外，其特征在于，特征量对应于根据发热区域算出的面积或者根据发热区域算出的配线的发热宽度中的至少任一个。

另外，其特征在于，当特征量比规定的范围小时，发热区域识别工序使用比规定时刻晚的时刻的红外线图像。