[发明专利]反射镜致动器、光束照射装置及激光雷达

权利要求书

1.一种反射镜致动器，其特征在于，

该反射镜制动器具备：

基体；

以能够相对于第一转动轴转动的方式支承于所述基体的第一转动部；

以能够相对于与所述第一转动轴垂直的第二转动轴转动的方式支承于所述第一转动部的第二转动部；

配设于所述第二转动部的反射镜；

使所述第一转动部绕所述第一转动轴转动的第一驱动部；

使所述第二转动部绕所述第二转动轴转动的第二驱动部，

所述第二驱动部具有线圈部及对所述线圈部赋予磁场的磁铁部，所述线圈部和所述磁铁部中的一方配置于所述第一转动部，另一方配置于所述第二转动部。

2.根据权利要求1所述的反射镜致动器，其特征在于，

所述第二转动部具备以能够相对于所述第二转动轴转动的方式可转动地支承于所述第一转动部的轴部，

所述反射镜安装于所述轴部，

所述线圈部配置于所述轴部和所述第一转动部中的一方，

所述磁铁部配置于所述轴部和所述第一转动部中的另一方。

3.根据权利要求2所述的反射镜致动器，其特征在于，

所述磁铁部包括绕所述第二转动轴划分磁极的磁铁，

所述线圈部具备包括从所述第二转动轴呈放射状延伸的直线部分在内的多个线圈，所述多个线圈以彼此相邻的所述直线部分与所述磁铁的一个所述磁极相面对的方式形成，

所述线圈和所述磁铁以在与所述第二转动轴平行的方向上隔开规定的间隙排列的方式配置。

4.根据权利要求3所述的反射镜致动器，其特征在于，

所述磁铁部形成为外周以所述第二转动轴为中心的圆形形状。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的反射镜致动器，其特征在于，

所述线圈部配置于所述第二转动部，

所述磁铁部配置于所述第一转动部。

6.一种光束照射装置，其特征在于，

该光束照射装置具备：

权利要求1～5中任一项所述的反射镜致动器；

向所述反射镜致动器的反射镜供给激光的激光源。

7.一种激光雷达，其特征在于，

该激光雷达具备：

权利要求1～5中任一项所述的反射镜致动器；

向所述反射镜致动器的反射镜供给激光的激光源；

接受从目标区域反射出的所述激光的受光部；

基于来自所述受光部的输出来检测所述目标区域中的物体的检测部。