[发明专利]固化性组合物、涂布用组合物、固化膜、激光加工方法及多层布线结构体的制造方法

权利要求书

1.固化性组合物，它是用于获得一部分通过激光的照射被除去的固化膜的固化性组合物，其特征在于，

包含具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)。

2.如权利要求1所述的固化性组合物，其特征在于，所述固化性组合物中的含氟聚亚芳基预聚物(A)的含量为10～100质量％。

3.如权利要求1或2所述的固化性组合物，其特征在于，还包含化合物(B)，所述化合物(B)的数均分子量为140～5000，具有2个以上的交联性官能团，不具有氟原子。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的固化性组合物，其特征在于，还包含自由基聚合引发剂(C)。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的固化性组合物，其特征在于，还包含吸收所照射的激光的色素(D)。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的固化性组合物，其特征在于，所述含氟聚亚芳基预聚物(A)是通过使具有交联性官能团和酚性羟基的化合物(Y-1)以及具有交联性官能团和氟原子取代芳香环的化合物(Y-2)中的至少任一种与以下式(1)表示的含氟芳香族化合物(Z1)、具有3个以上的酚性羟基的化合物(Z2)在脱HF剂的存在下进行缩合反应而得的，具有交联性官能团和醚键的聚合物；

[化1]

式(1)中，n’为0～3的整数，a和b分别独立表示0～3的整数；Rf¹和Rf²分别表示可相同或不同的碳数8以下的含氟烷基，芳香环内的F表示该芳香环的氢原子全部被氟原子取代。

7.涂布用组合物，其特征在于，包含权利要求1～6中的任一项所述的固化性组合物和溶剂。

8.固化膜，其特征在于，对于由权利要求1～6中的任一项所述的固化性组合物或权利要求7所述的涂布用组合物得到的涂膜，根据需要除去溶剂后，通过热固化或光固化进行固化而获得。

9.激光加工方法，其特征在于，包括对权利要求8所述的固化膜照射激光而除去该膜的一部分的工序。

10.如权利要求9所述的激光加工方法，其特征在于，所述固化膜的厚度为0.1～100μm。

11.如权利要求9或10所述的激光加工方法，其特征在于，所述激光的激发波长为190～1100nm。

12.多层布线结构体的制造方法，其特征在于，包括下述工序：通过权利要求9～11中的任一项所述的激光加工方法，对由使所述固化性组合物固化而得的固化膜形成的绝缘膜照射所述激光而形成通孔。