[发明专利]静压气体支承结构

权利要求书

1.一种静压气体支承结构，其具有支承装置，该支承装置设有对着相对运动的配对部件但并不接触的支承表面，其中：

配对部件是磁化部件；以及

支承装置包括：

磁力产生装置，该磁力产生装置产生磁力；以及

压缩空气供给装置，该压缩空气供给装置将压缩空气供给在配对部件和支承表面之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的静压气体支承结构，其中：

磁力产生装置布置在支承表面的中心；以及

压缩空气供给装置布置成在外周侧环绕磁力产生装置。

3.根据权利要求1和2中任意一项所述的静压气体支承结构，其中：

磁力产生装置是磁体；

压缩空气供给装置是板形部件，其中，至少一个压缩空气喷射孔形成于一端表面中，用于磁力产生装置的插入孔形成于该一端表面的中心；以及

支承表面组成为包括磁体的端表面和板形部件的该一端表面。

4.根据权利要求3所述的静压气体支承结构，其中：

磁体包括至少一个永磁体。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的静压气体支承结构，其中：所述静压气体支承结构还包括：用于使得支承表面和配对部件之间的间隙保持均匀的对齐装置。

6.根据权利要求5所述的静压气体支承结构，其中：

对齐装置是球接头，用于将静压气体支承件以自由角度安装在基部上。