[发明专利]静压气体支承结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种静压气体支承件，用于在支承件和相对于该支承件运动的配对部件之间产生一层气体以及用于通过该层气体来支承该配对部件，特别是，本发明涉及一种静压气体支承结构，它耐负载变化，并能够减小使用该支承件的装置的尺寸和重量。

背景技术

专利文献1公开了一种静压气体支承件，该静压气体支承件即使支承较轻物体时也能够稳定支承且并不接触。该静压气体支承件包括在它的支承表面（该支承表面对着要支承的物体但并不接触）中的第一和第二多孔表面以及隔板壁的端表面，该隔板壁使得第二多孔表面与第一多孔表面分离。在各第一和第二多孔表面中形成大量的细孔。第一多孔表面的孔与压缩空气供给泵连接，用于通过开口喷射压缩空气。第二多孔表面的孔与空气抽吸泵连接，用于将空气吸入开口内。第二多孔表面与第一多孔表面基本平齐。

根据上述结构，在专利文献1中介绍的静压气体支承件即使支承较轻物体时也能够稳定支承且并不接触，因为在由压缩空气供给泵从第一多孔表面喷射空气、由空气抽吸泵将空气吸入第二多孔表面以及支承件或物体的重量之间平衡。

引用文献列表

专利文献

专利文献1：日本未审查专利申请公开No.2005-214290

发明内容

技术问题

因为在专利文献1中介绍的静压气体支承件通过将空气吸入第二多孔表面内而把要支承的物体吸引向支承表面，因此不能由比大气压力更大的力来吸引物体。因此，在专利文献1中介绍的静压气体支承件的刚性较低。例如，当外力施加在物体或静压气体支承件上而引起负载变化时，物体的支承状态可能变得不稳定。

而且，在专利文献1中介绍的静压气体支承件除了需要用于从第一多孔表面喷射压缩空气的压缩空气供给泵之外还需要用于将空气吸入第二多孔表面内的空气抽吸泵。因此，在例如静压气体支承件用于装置（例如空气滑动装置）的情况下，使用静压气体支承件的装置整个变得更大和更重。

考虑到上述情况而提出了本发明。本发明的目的是提供静压气体支承结构，该静压气体支承结构耐负载变化（由于外力等）且支承状态稳定，并能够减小安装该静压气体支承件的装置的尺寸和重量。

问题的解决方案

为了解决上述问题，在根据本发明的静压气体支承结构中，具有支承表面的支承装置设有用于产生磁力的磁力产生装置和用于喷射压缩空气的压缩空气供给装置，该支承表面对着相对运动的配对部件但并不接触。另外，磁化部件用作配对部件，且一层空气形成于该配对部件和支承表面之间。

例如，本发明提供了一种静压气体支承结构，该静压气体支承结构有支承装置，该支承装置设有对着相对运动的配对部件但并不接触的支承表面，其中：

配对部件是磁化部件；以及

支承装置包括：

磁力产生装置，该磁力产生装置产生磁力；以及

压缩空气供给装置，该压缩空气供给装置将压缩空气供给在配对部件和支承表面之间的间隙。

发明的有利效果

根据本发明，磁化部件用作用于静压气体支承件的配对部件，且该磁化部件通过由磁力产生装置产生的磁力而相对于静压气体支承件的支承装置的支承表面被吸引。因此，与使用空气抽吸装置（其中，吸引力局限于大气压力下）作为用于吸引配对部件的装置的静压气体支承件相比，能够实现具有高刚性的静压气体支承件，它能够降低突然负载变化的影响。因此，即使当配对部件或静压气体支承件自身产生突然负载变化时，也能够在静压气体支承件和配对部件之间保持稳定的相对运动。而且，不需要使用空气抽吸泵，因此能够减小安装该静压气体支承件的装置的尺寸和重量。

附图说明

图1（A）和1（B）是表示根据本发明一个实施例的空气支承件1的外部视图；

图2（A）和2（B）是图1中所示的空气支承件1的正视图和后视图；

图3（A）是图2（A）中所示的空气支承件1的右侧视图，而图3（B）是图2（A）中所示的空气支承件的A-A剖视图；以及

图4是用于解释本发明的一个实施例的空气支承件1的操作原理的视图。

具体实施方式

下面将参考附图介绍本发明的实施例。

图1（A）和1（B）是表示根据本发明一个实施例的空气支承件1的外部视图。图2（A）和2（B）是图1中所示的空气支承件1的正视图和后视图。而图3（A）是图2（A）中所示的空气支承件1的右侧视图，而图3（B）是图2（A）中所示的空气支承件1的A-A剖视图。