[发明专利]体声波谐振器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在所述第一电极和所述第二电极之间的压电层；

空气间隙，设置在所述体声波谐振单元下方；

空气边缘，形成在距体声波谐振单元的中部的一定距离处，

其中，空气边缘反射从体声波谐振单元产生的水平声波并部分地围绕所述体声波谐振单元的边缘。

2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述空气边缘是沿着竖直方向按照与体声波谐振单元的厚度大约相同的厚度蚀刻的体声波谐振单元的边缘的一部分。

3.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，

空气间隙设置在基底上，空气间隙反射从所述体声波谐振单元产生的竖直声波。

4.如权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述空气边缘是沿着竖直方向从所述体声波谐振单元的边缘直至空气间隙的预定穿透部分。

5.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述空气边缘是设置在所述体声波谐振单元上的放大的通孔。

6.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极、第二电极和压电层通过应用层叠在与体声波谐振单元的边缘不同的部分上的光掩模而按照相同的过程被蚀刻，使得空气边缘具有陡坡。

7.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述空气边缘形成在体声波谐振单元的边缘的一部分上，所述部分大于或等于所述边缘的20％。

8.如权利要求1所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括：

钝化层，由氧化硅基材料、氮化硅基材料和氮化铝基材料中的一种形成，所述钝化层设置在压电层、第一电极或第二电极中的一个上或者设置在压电层、第一电极或第二电极中的一个下方。

9.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述体声波谐振单元包括：

第一框架，通过在连接到第一电极的部分处的另外的膜的蒸镀而形成，其中，所述第一框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘；

第二框架，通过在连接到第二电极的部分处的另外的膜的蒸镀而形成，其中，所述第二框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。

10.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述体声波谐振单元包括：

第一框架，在连接到所述第一电极的部分处被蚀刻，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘；

第二框架，在连接到所述第二电极的部分处被蚀刻，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。

11.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极包括：

以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的一部分的部分；

暴露于空气边缘的图案化的部分。

12.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述第二电极包括：

以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的一部分的部分；

暴露于空气边缘的图案化的部分。

13.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述体声波谐振单元包括：

第一框架，通过在第一电极以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的一部分的部分处的另外的膜的蒸镀而形成；

第二框架，通过在第二电极以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的一部分的部分处的另外的膜的蒸镀而形成。

14.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述体声波谐振单元包括：

第一框架，在所述第一电极以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的一部分的部分处被蚀刻；

第二框架，在所述第二电极以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的一部分的部分处被蚀刻。