[发明专利]体声波谐振器

说明书

公开了一种体声波谐振器(BAWR)。BAWR可以包括具有第一电极、第二电极和压电层的体声波谐振单元。所述压电层设置在第一电极和第二电极之间。在距所述体声波谐振单元的中部的一定距离处形成空气边缘。

技术领域

下面的描述涉及一种体声波谐振器(BAWR)。

背景技术

体声波谐振器(BAWR)通过将电势施加到设置在压电层上和/或压电层下方的电极而进行操作。压电层响应于施加到电极的高频电势而振荡。结果，BAWR进行操作。

BAWR的带宽与声电耦合系数成比例。电极和压电层的膜特性影响声电耦合系数。因此，为了增加BAWR的带宽，需要提高声电耦合系数的值。

因此，需要持续地开发利用电极和压电层的膜特性来改善带宽的技术。

发明内容

技术方案

在一个总的方面，提供一种体声波谐振器(BAWR)，所述BAWR包括：体声波谐振单元，包括第一电极、第二电极以及设置在第一电极和第二电极之间的压电层；空气边缘，形成在距所述体声波谐振单元的中部的预定位置处。

所述空气边缘可通过沿着竖直方向按照与体声波谐振单元的厚度大约相同的厚度蚀刻体声波谐振单元的边缘的预定部分而形成。

所述BAWR还可包括空气间隙，所述空气间隙设置在所述体声波谐振单元下方并设置在所述基底上，所述空气间隙反射从所述体声波谐振单元产生的竖直声波。

所述空气边缘可通过沿着竖直方向穿透体声波谐振单元的边缘的预定部分直至所述空气间隙而形成。

所述空气边缘可通过放大设置在所述体声波谐振单元上的通孔而形成。

所述第一电极、第二电极和压电层可通过应用层叠在与体声波谐振单元的边缘不同的部分上的光掩模而按照相同的过程被蚀刻，使得空气边缘具有陡坡。

所述空气边缘可形成在体声波谐振单元的边缘的一部分上，所述部分大于或等于所述的边缘的20％。

所述BAWR还可包括桥部，所述桥部设置在体声波谐振单元的边缘中的除了形成空气边缘的部分之外的区域上，所述桥部支撑所述体声波谐振单元。

所述BAWR还可包括钝化层，所述钝化层由氧化硅基材料、氮化硅基材料和氮化铝(AlN)基材料中的一种形成，所述钝化层设置在压电层上或者设置在压电层下方。

所述BAWR还可包括钝化层，所述钝化层由氧化硅基材料、氮化硅基材料和AlN基材料中的一种形成，所述钝化层设置在第一电极上或者设置在第一电极下方。

所述BAWR还可包括钝化层，所述钝化层由氧化硅基材料、氮化硅基材料和AlN基材料中的一种形成，所述钝化层设置在第二电极上或者设置在第二电极之下。所述体声波谐振单元可包括：第一框架，通过经由蒸镀在连接到第一电极的部分处局部地形成另外的膜而形成，并且所述第一框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘；第二框架，通过经由蒸镀在连接到第二电极的部分处局部地形成另外的膜而形成，并且所述第二框架不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。

所述体声波谐振单元可包括：第一框架，通过在连接到所述第一电极的部分处进行局部地蚀刻而形成，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘；第二框架，通过在连接到所述第二电极的部分处进行局部地蚀刻而形成，并且不包括体声波谐振单元的边缘上的空气边缘。

所述第一电极可包括以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分以及通过图案化暴露于空气边缘的部分。

所述第二电极可包括以指状物的形式连接到所述体声波谐振单元的边缘的预定部分的部分以及通过图案化暴露于空气边缘的部分。