[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序以及非暂时性电脑可读媒体

权利要求书

1.一种形状测定装置，测定测定对象的形状，其特征在于其具有：

照射部，对测定对象的测定区域照射测定光；

摄影部，取得包含被前述照射部照射的位置的前述测定区域的像；

载台，载置前述测定对象；

坐标算出部，从以前述摄影部检测出的像算出前述测定区域的位置；以及

定位机构，将前述摄影部与前述载台相对驱动控制，

其中，前述定位机构配置为，根据前述测定对象反复的凹凸形状中前述测定区域的凸部的棱线方向或凹部连接的方向的信息，设定前述摄影部与前述载台的相对位置，并使前述载台与前述摄影部中的一者相对彼此而移动，其中，前述定位机构配置为，是以将前述测定光从第1方向照射于前述测定区域和从与前述凸部的棱线方向对应的第2方向拍摄前述测定区域中的像的方式，设定前述照射部与前述摄影部相对前述测定对象的相对位置，其中，与前述测定对象的表面的法线方向对应而决定的方向为前述第1方向，

其中，前述第2方向是测定部位的凸部或凹部在从摄影部观看时不被相邻的凸部遮隐的方向，

其中，前述定位机构具备旋转移动部，该旋转移动部是在前述测定对象所具有的周方向的反复形状的测定时以使被照射前述测定光的前述测定区域的位置移动于与周方向对应的第3方向的方式使前述照射部与前述测定对象相对移动；

其中，前述定位机构进一步具有相对移动部，该相对移动部配置为是以使移动于与前述凸部的棱线方向所延伸的方向对应而决定的第4方向的方式使前述照射部与前述测定对象相对移动，

其中，前述照射部照射前述测定光于一方向上，使得藉由前述测定光被形成于前述测定对象上的光切断线相对于前述周方向及前述凸部的棱线方向所延伸的方向的两方倾斜。

2.如权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述定位机构，将相对前述载台的前述摄影部的位置设定成前述第2方向在对包含前述棱线的面射影时成为在前述测定区域及其附近前述棱线与前述摄影部的摄影方向不相交的方向。

3.如权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述照射部照射具有线状的光量分布的测定光；

前述定位机构，将相对前述载台的前述照射部的位置设定成前述第1方向成为于前述测定光的光束中包含前述测定区域的法线的方向。

4.如权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述摄影部，是每于因前述旋转移动部而产生的前述测定区域往前述第3方向位移时生成摄影影像；并且

前述坐标算出部，根据前述摄影影像测定多个前述凹凸形状。

5.如权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于其进一步具备：保持前述照射部与前述摄影部的保持部，

其中，前述旋转移动部是使前述保持部与前述测定对象相对移动。

6.如权利要求1或5所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述定位机构包括配置为改变前述摄影部和前述照射部的倾斜角度的关节机构。

7.如权利要求6所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述定位机构进一步包括配置为在垂直于前述关节机构的旋转方向的方向上旋转前述摄影部和前述照射部的旋转机构。

8.如权利要求1或5所述的形状测定装置，其特征在于其进一步地，前述旋转移动部是透过移动控制部控制；并且前述移动控制部配置为控制成使测定对象于前述第3方向相对旋转移动和使被照射前述测定光的位置于前述第3方向相对移动。

9.如权利要求8所述的形状测定装置，其特征在于其进一步具备：速度控制部，是依据被照射前述测定光的前述测定对象的前述相对旋转移动的半径方向的位置，控制使前述测定对象相对旋转移动的移动速度。

10.如权利要求1或5所述的形状测定装置，其特征在于其进一步具备：摄影部控制部，可依据被照射前述测定光的前述测定对象的前述相对旋转移动的半径方向的位置改变前述摄影部的摄影间隔。

11.如权利要求8所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述旋转移动部配置为使前述测定对象的中心轴与前述相对旋转移动的旋转轴一致地使前述测定对象旋转移动。

12.如权利要求1或5所述的形状测定装置，其特征在于其中，前述旋转移动部具有配置为使前述测定对象移动于前述第3方向的第1移动部与配置为相对前述第1移动部使前述摄影部移动于前述第4方向的第2移动部。