[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序以及非暂时性电脑可读媒体有效
申请号: | 201280059323.7 | 申请日: | 2012-11-30 |
公开(公告)号: | CN103959010B | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 山口雅哉 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人: | 寿宁,张华辉 |
地址: | 日本东京都千代*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形状 测定 装置 构造 制造 系统 方法 程序 以及 暂时性 电脑 可读 媒体 | ||
技术领域
本发明是关于形状测定装置、形状测定方法、及其的程序。
背景技术
以往,形状测定装置已知有例如借由接触感测器测定齿轮或涡轮等具有复杂形状的测定对象表面形状者。此种形状测定装置,是将使接触感测器接触于测定对象表面的状态的接触感测器的位置转换为测定对象表面的空间坐标以测定测定对象的表面形状(参照例如专利文献1)。
引用列表
专利文献
专利文献1:日本特公平08-025092号公报
发明内容
技术问题
如上述的形状测定装置虽被期望缩短测定时间,但由于会反复使接触感测器接触于测定对象表面的动作,因此有测定时间变长而无法增多测定点数目的事情。此种情形下,如上述的形状测定装置是为了缩短测定时间而减少测定点数目来测定。亦即,如上述的形状测定装置有无法正确地测定形状的问题。
本发明是为了解决上述问题而完成的,其目的在于提供能正确测定形状的形状测定装置、形状测定方法、及其的程序。
问题对策
依据本发明的第1实施例,为一种形状测定装置,测定测定对象的形状,其具有:
照射部,对测定对象的测定区域照射测定光;
摄影部,取得包含被前述照射部照射的位置的前述测定区域的像;
载台,载置前述测定对象;
坐标算出部,从以前述摄影部检测出的像算出前述测定区域的位置;以及
定位机构,将前述摄影部与前述载台相对驱动控制,其中,前述定位机构,根据前述测定对象反复的凹凸形状中前述测定区域的凸部的棱线方向或凹部连接的方向的信息,算出前述摄影部与前述载台的相对位置,并使前述载台与前述摄影部中的至少一者移动。
依据本发明的第2实施例,为一种形状测定装置,测定测定对象的形状,其具有:
照射部,是从第1方向对于圆周方向具有反复形状且具有延伸于与前述圆周方向相异的方向的凹凸形状的测定对象的测定区域照射测定光;
摄影部,从与被照射前述测定光的表面的前述凹凸形状所延伸的方向对应而决定的第2方向拍摄前述测定对象;以及
测定部,根据以前述摄影部取得的前述测定光的位置测定前述表面的形状。
依据本发明的第3实施例,为一种构造物制造系统,其包含:
设计装置,制作与构造物形状相关的设计信息;
成形装置,根据前述设计信息制作前述构造物;
上述的形状测定装置,根据摄影该构造物的影像来测定由所述成形装置所产生的前述构造物的形状;以及
检查装置,比较借由前述测定而得的形状信息与前述设计信息。
依据本发明的第4实施例,为一种形状测定方法,测定测定对象的形状,其包含:
准备形状测定装置的步骤,其包含:具备具有对于圆周方向具有反复形状且具有延伸于与前述圆周方向相异的方向的凹凸形状的表面的测定对象表面照射测定光的照射部、生成拍摄前述测定光后的摄影影像的摄影部、以及根据前述摄影影像测定前述测定对象的形状的测定部的形状测定装置,
借由与前述表面的法线方向对应而决定的第1方向对前述表面照射前述测定光的步骤;以及
从与被照射前述测定光的前述表面的前述凹凸形状所延伸的前述相异方向对应而决定的第2方向拍摄前述测定光的步骤。
依据本发明的第5实施例,为一种构造物制造方法,其包含:
制作与构造物形状相关的设计信息的步骤;
根据前述设计信息制作前述构造物的步骤;
使用上述的形状测定方法,根据所生成的摄影影像测定所制作的前述构造物的形状的步骤;以及
比较借由前述测定而得的形状信息与前述设计信息的步骤。
依据本发明的第6实施例,为一种用于测定形状的程序,其允许电脑执行步骤,所述电脑作为形状测定设备,具备:具有于圆周方向周期性排列且延伸于与前述圆周方向相异的方向的凹凸形状的表面的测定对象表面照射测定光的照射部、生成拍摄前述测定光后的摄影影像的摄影部、以及根据前述摄影影像测定前述测定对象的形状的测定部的形状测定装置,所述步骤包含:借由与前述表面的法线方向对应而决定的第1方向对前述表面照射前述测定光;以及从与被照射前述测定光的前述表面的前述凹凸形状所延伸的方向对应而决定的第2方向拍摄前述测定光。
依据本发明的第7实施例,为一种非暂时性电脑可读媒体,其中根据前述的程序被储存。
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