[发明专利]溅镀装置、靶材及护罩

权利要求书

1.一种溅镀装置，具有：背垫板、用以将靶材固定在所述背垫板的固定部、及包围所述靶材的周围的护罩，该溅镀装置在处理空间中通过溅镀而在基板上形成膜，其特征为：

所述护罩具有开口部，

所述固定部构成为通过将所述靶材的周边部按压在所述背垫板上，将所述靶材固定在所述背垫板上，

所述护罩具有：没有介于其间的所述固定部而与所述背垫板相面对的面对部、及在所述面对部的外侧形成的外侧部，在所述面对部与所述背垫板之间的间隔小于所述外侧部与所述背垫板之间的间隔，以及

所述护罩的面向所述处理空间的内面包含以所述内面与所述背垫板的距离随着由所述外侧部朝向所述面对部减小的方式呈倾斜的部分。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其中，所述固定部在所述处理空间侧的面包含以所述固定部的该面与所述背垫板的距离朝向所述开口部的内侧减小的方式呈倾斜的部分，

所述护罩的与所述内面为相反侧的面是包含以所述护罩的该面与所述背垫板的距离由所述外侧部朝向所述面对部减小的方式呈倾斜的部分。

3.如权利要求1或2所述的溅镀装置，其中，所述面对部包含朝向所述背垫板突出的突出部。

4.如权利要求3所述的溅镀装置，其中，所述溅镀装置另外具备有靶材，

所述靶材具有：被配置在所述开口部的内侧的本体部；及包围所述本体部的凸缘部，以及

所述靶材在所述凸缘部具有环状凹部，所述突出部与所述凹部相面对。

5.如权利要求1-4之一所述的溅镀装置，其中，所述护罩包含在远离所述开口部的方向厚度变厚的部分。

6.如权利要求1-5之一所述的溅镀装置，其中，所述护罩的面向所述处理空间的内面在远离所述开口部的方向所述背垫板离中心轴的距离变大后会变小。

7.如权利要求1-5之一所述的溅镀装置，具有：被配置在所述开口部的内侧的本体部；及包围所述本体部的凸缘部，所述本体部在其周边部具有倾斜面。

8.一种护罩，以包围所述靶材的周围的方式配置于溅镀装置中，具有：背垫板、及用以将靶材固定在所述背垫板的固定部，在处理空间通过溅镀而在基板上形成膜，其特征为：

所述护罩具有开口部，

所述固定部构成为通过将所述靶材的周边部按压在所述背垫板上，将所述靶材固定在所述背垫板上，

所述护罩具有：没有介于其中的所述固定部而与所述背垫板相面对的面对部、及在所述面对部的外侧形成的外侧部，所述面对部与所述背垫板之间的间隔小于所述外侧部与所述背垫板之间的间隔，

所述护罩的面向所述处理空间的内面包含以所述内面与所述背垫板之间的距离由所述外侧部朝向所述面对部减小的方式呈倾斜的部分。

9.如权利要求8所述的溅镀装置，其中，所述固定部的面对所述处理空间的面包含以该面与所述背垫板之间的距离朝向所述开口部的内侧减小的方式呈倾斜的部分，

所述护罩的与所述内面为相反侧的面包含以所述内面与所述背垫板之间的距离由所述外侧部朝向所述面对部减小的方式呈倾斜的部分。

10.如权利要求8或9所述的护罩，其中，所述面对部包含朝向所述背垫板突出的突出部。

11.如权利要求8-10之一所述的护罩，其中，所述护罩包含在远离所述开口部的方向厚度变厚的部分。

12.如权利要求8-10之一所述的护罩，其中，所述护罩的面向所述处理空间的内面在远离所述开口部的方向离所述背垫板的中心轴的距离变大后会变小。

13.一种用于溅镀装置的靶材，包括本体部，和包围所述本体部的凸缘部，其中所述凸缘部具有环状凹部。