[发明专利]薄板部件移载装置有效
申请号: | 201280062229.7 | 申请日: | 2012-11-14 |
公开(公告)号: | CN103999206A | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 藤原弘一;藤原贤司 | 申请(专利权)人: | 福来斯科精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄板 部件 装置 | ||
1.一种薄板部件移载装置,其将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件,所述薄板部件移载装置的特征在于,其具备:
保持移动部件,其具有以规定的间隔设置的多个保持件,用以一张一张地保持所述薄板部件,所述保持移动部件将所述薄板部件以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件移动;
第一突出部件,其以每隔规定的张数的方式支承被收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件,并朝向所述保持移动部件突出,用以在所述第一收纳部件和所述保持移动部件之间进行所述薄板部件的交接;以及
第二突出部件,其支承被所述保持移动部件移动到所述第二收纳部件的附近的多张所述薄板部件,并将该多张所述薄板部件收纳到所述第二收纳部件,用以在所述保持移动部件和所述第二收纳部件之间进行所述薄板部件的交接。
2.根据权利要求1所述的薄板部件移载装置,其特征在于,
所述薄板部件移载装置还具备:
中间回转载物台,其具有旋转自如的旋转工作台,用以临时载置被所述保持移动部件移动的所述薄板部件并且使所载置的所述薄板部件的表背翻转,所述中间回转载物台被设置在所述第一收纳部件和所述第二收纳部件之间;以及
第三突出部件,其支承被所述保持移动部件移动到所述中间回转载物台的附近的多张所述薄板部件并载置到所述旋转工作台上,用以在所述保持移动部件和所述中间回转载物台之间进行所述薄板部件的交接,并且,所述第三突出部件支承被载置在所述旋转工作台上的所述薄板部件并朝向所述保持移动部件突出。
3.根据权利要求2所述的薄板部件移载装置,其特征在于,
所述保持移动部件具备用于使所述薄板部件在所述第一收纳部件和所述中间回转载物台之间移动的第一保持移动部件、和用于使所述薄板部件在所述中间回转载物台和所述第二收纳部件之间移动的第二保持移动部件。
4.根据权利要求2或3所述的薄板部件移载装置,其特征在于,
所述中间回转载物台具备一对薄板支承部件,所述薄板支承部件被设置在所述旋转工作台上,从两侧支承被载置在该旋转工作台上的所述薄板部件,所述薄板支承部件具有引导部件,所述引导部件引导由所述第三突出部件支承的多张所述薄板部件以按照规定的间隔将其载置到所述旋转工作台上,
该引导部件具备横向滑动引导部,所述横向滑动引导部具有引导件并且在水平方向上滑动自如,所述引导件以每隔一个部位的方式介于被载置在所述旋转工作台上的多张所述薄板部件之间,通过使所述横向滑动引导部在水平方向上滑动移动,由此使所述薄板部件两张两张地重合。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的薄板部件移载装置,其特征在于,
所述保持移动部件具备真空吸附板作为所述保持件,
所述保持移动部件还具备用于变更所述保持件的间隔的间隔可变部件,所述间隔可变部件具有用于变更被设置在所述保持件侧的凸轮从动件的间隔的凸轮板、和使凸轮板滑动移动的凸轮驱动部件。
6.一种薄板部件移载方法,用于将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件,所述薄板部件移载方法的特征在于,其具备:
第一顶起工序,在该第一顶起工序中,利用突出部件将收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件以每隔一张的方式向上方顶起;
第一移动工序,在该第一移动工序中,将通过所述第一顶起工序被顶起的所述薄板部件保持于保持移动部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动;
第二顶起工序,在该第二顶起工序中,利用所述突出部件将在所述第一收纳部件中每隔一张地剩余的所述薄板部件向上方顶起;以及
第二移动工序,在该第二移动工序中,利用所述保持移动部件保持通过所述第二顶起工序被顶起的所述薄板部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动,
以每隔一张的方式分两次移载被收纳于所述第一收纳部件的薄板部件。
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