[发明专利]薄板部件移载装置

说明书

技术领域

本发明涉及移载半导体用晶片等薄板部件的薄板部件移载装置，特别涉及同时移载多张薄板部件的薄板部件移载装置。

背景技术

以往提供有许多移载装置，所述移载装置将用于半导体制造的半导体晶片或用于液晶显示装置的玻璃薄板等薄板部件以多张集中起来的方式从规定的场所移载到规定的场所。

例如，在下述专利文献1、2中公开了将晶片或玻璃基板等薄板部件以多张集中起来的方式从规定的收纳部件保持并移载到其他收纳部件的移载装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-114344号公报

专利文献2：日本特开2006-156667号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述专利文献1、2所公开的薄板部件移载装置中，是通过真空吸附来吸附保持各薄板部件，需要在收纳于收纳部件的各薄板部件之间插入用于吸附的板状吸附部件。

因此，在上述专利文献1、2的移载装置中，若没有将薄板部件以比板状吸附部件的厚度大的间隔收纳在收纳部件内，则无法吸附保持薄板部件，产生了由于薄板部件的收纳间距而无法进行移载这样的问题。

本发明正是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供一种薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭小的间隔收纳在收纳部件内的情况下，也能够可靠地保持并移载。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的薄板部件移载装置将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载装置的特征在于，其具备：保持移动部件，其具有以规定的间隔设置的多个保持件，用以一张一张地保持所述薄板部件，所述保持移动部件将所述薄板部件以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件移动；第一突出部件，其以每隔规定的张数的方式支承被收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移动部件突出，用以在所述第一收纳部件和所述保持移动部件之间进行所述薄板部件的交接；以及第二突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述第二收纳部件的附近的多张所述薄板部件，并将该多张所述薄板部件收纳到所述第二收纳部件，用以在所述保持移动部件和所述第二收纳部件之间进行所述薄板部件的交接。

此外，本发明的薄板部件移载方法用于将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载方法的特征在于，其具备：第一顶起工序，在该第一顶起工序中，利用突出部件将收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件以每隔一张的方式向上方顶起；第一移动工序，在该第一移动工序中，将通过所述第一顶起工序被顶起的所述薄板部件保持于保持移动部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动；第二顶起工序，在该第二顶起工序中，利用所述突出部件将在所述第一收纳部件中每隔一张地剩余的所述薄板部件向上方顶起；以及第二移动工序，在该第二移动工序中，利用所述保持移动部件保持通过所述第二顶起工序被顶起的所述薄板部件并使所述薄板部件朝向所述第二收纳部件移动，以每隔一张的方式分两次移载被收纳于所述第一收纳部件的薄板部件。

发明效果

根据本发明的薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭小的间隔收纳于收纳部件内的情况下，也能够可靠地保持并移载。

附图说明

图1是本发明的实施方式的晶片移载装置的立体图。

图2是本发明的实施方式的晶片移载装置的主视图。

图3是从本发明的实施方式的第一吸附移动部件的下方观察的立体图。

图4是本发明的实施方式的第一吸附移动部件的吸附板的立体图。

图5是示出利用本发明的实施方式的第一吸附移动部件的吸附板来吸附保持晶片的状态的图。

图6是示出本发明的实施方式的第一吸附移动部件的凸轮板驱动机构的立体图。

图7是示出利用本发明的实施方式的第一吸附移动部件来保持晶片的状态的主视图。

图8是本发明的实施方式的第二吸附移动部件的吸附板的立体图。

图9是示出利用本发明的实施方式的第二吸附移动部件来保持晶片的状态的主视图。

图10是本发明的实施方式的中间回转载物台的立体图。

图11是示出本发明的实施方式的晶片支承部件的结构的立体图。

图12是示出本发明的实施方式的晶片支承部件的滑动引导部件的结构的立体图。

图13是本发明的实施方式的第一突出单元的立体图。

图14是本发明的实施方式的第二突出单元的主视图。