[发明专利]自动外观检查装置

权利要求书

1.一种自动外观检查装置，该自动外观检查装置是对形成在检查对象物上的图案的缺陷进行检测的检查对象物检查装置，其特征在于，具有：

载台部，其载置所述检查对象物；

扫描台部，其使所述载台部在规定的方向上扫描移动；

照明部，其朝向所述检查对象物照射照明光；

镜筒部，其将从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光或者透射过所述检查对象物的光作为观察光进行引导；

摄像部，其安装在所述镜筒部上，对所述观察光进行摄像；

控制部，其一边使所述扫描台部移动，一边使所述照明部发光，进行所述观察光的摄像；以及

检查部，其根据预先登记的检查条件，判断所述摄像的所述检查对象物的图像是否良好，

所述扫描台部具有测量所述载台部的当前位置的位置测量单元，

所述镜筒部具有光分支单元，该光分支单元使所述观察光的一部分透射，并且使一部分改变角度而反射，

所述镜筒部安装有多个所述摄像部，使得能够分别对所述光分支单元所分支的光进行摄像，

所述控制部具有对于每次所述摄像逐次切换用于所述摄像的所述摄像部来进行摄像的功能。

2.一种自动外观检查装置，该自动外观检查装置是对形成在检查对象物上的图案的缺陷进行检测的检查对象物检查装置，其特征在于，具有：

载台部，其载置所述检查对象物；

扫描台部，其使所述载台部在规定的方向上扫描移动；

照明部，其朝向所述检查对象物照射照明光；

镜筒部，其将从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光或者透射过所述检查对象物的光作为观察光进行引导；

摄像部，其安装在所述镜筒部上，对所述观察光进行摄像；

控制部，其一边使所述扫描台部移动，一边使所述照明部发光，进行所述观察光的摄像；以及

检查部，其根据预先登记的检查条件，判断所述摄像的所述检查对象物的图像是否良好，

所述扫描台部具有测量所述载台部的当前位置的位置测量单元，

所述镜筒部具有改变所述观察光的角度或方向来进行反射的光反射单元，

所述镜筒部安装有多个所述摄像部，使得能够分别对所述光反射单元所反射的光进行摄像，

所述控制部具有对于每次所述摄像与所述摄像联动地变更所述光反射单元的反射方向并且逐次切换用于所述摄像的所述摄像部来进行摄像的功能。

3.根据权利要求2所述的自动外观检查装置，其特征在于，

所述镜筒部还安装有致动部，该致动部变更所述光反射单元的位置或者角度，

所述控制部与所述摄像联动地驱动致动部，进行所述摄像。

4.根据权利要求3所述的自动外观检查装置，其特征在于，

所述致动部在所述摄像过程中也使所述光反射单元的位置或者角度处于移动状态。

5.根据权利要求4所述的自动外观检查装置，其特征在于，

所述摄像过程中的致动部的移动速度比非摄像时的该移动速度慢。

6.根据权利要求3～5中的任意一项所述的自动外观检查装置，其特征在于，

所述致动部或者所述光反射单元安装有检测当前位置的位置检测器或者检测当前角度的角度检测器，

根据该位置检测器或者该角度检测器的信息进行所述摄像。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的自动外观检查装置，其特征在于，

照射所述照明光的照明部是照射闪光灯照明的闪光灯照明部，

通过闪光灯照明的发光进行所述摄像。