[发明专利]自动外观检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及自动检查在玻璃和半导体晶片等检查对象物上形成的电路图案等的缺陷的技术。

背景技术

半导体设备例如是在一枚晶片上排列/形成多个电路图案后切割成单片而制造的。各个电路图案在进行几重布线和成膜之后被形成为层状，但是对是否存在布线短路或断线、混入异物等缺陷，在进行了各层的电路构图之后进行全数检查(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-224303号公报

发明内容

发明要解决的课题

为了增加半导体设备等在每单位时间内的制造数量，也要求检查装置有很高的处理能力。因此，为了缩短每一枚基板花费的检查时间，考虑了移动台的高速化或配置多个摄像部的方式。然而，即使实现移动台的高速化，在取得图像后，到能够取得下一个图像之前的时间也会成为瓶颈，高速化存在界限。

图10是以往技术的时序图，按照时间序列示出了根据摄像指示由摄像机进行摄像并传送数据的情况。对摄像机进行了摄像指示后，摄像机成为可摄像状态(图中记载为“摄像开”)，其间使闪光灯照明发光(图中记载为“开”)。摄像机摄像终止时(图中为变成“摄像关”时)，从摄像机向外部设备或缓冲存储器等传送图像数据。摄像机可以很好地使用一般普及的应用性高的摄像机，但是这种摄像机不具有蓄积所拍摄的图像的功能、或是在图像数据的传送过程中，仅能存储一张下一个图像的程度。因此，按照能够连续传送图像数据的时间间隔Td，以相同程度的时间间隔T1进行了逐次摄像。因此，在连续摄像时，时间间隔T1成为缩短时间的瓶颈。

另一方面，为了缩短检查时间，也提出了配置多个摄像部的方式(例如用两台摄像机同时取得两个电路图案)，但是在检查对象物很小，不能使摄像部互相之间的间隔缩短的情况下，不能同时拍摄多个电路，因而不能按照期望缩短时间。

进而，在为了对应多个品种而备有多个摄像倍率不同的物镜的情况下，也存在以下的课题：由于镜头个数增加，成为成本提高的因素；以及为了使检查质量一致，需要校正多个摄像部的功能差异，成为进一步提高成本的因素。

这里，本发明的目的在于提供一种能够不受摄像机处理能力的制约而缩短检查时间的自动外观检查装置。

用于解决问题的手段

为了解决以上问题，权利要求1所述的发明是

一种自动外观检查装置，该自动外观检查装置是对形成在检查对象物上的图案的缺陷进行检测的检查对象物检查装置，其特征在于，具有：

载台部，其载置所述检查对象物；

扫描台部，其使所述载台部在规定的方向上扫描移动；

照明部，其朝向所述检查对象物照射照明光；

镜筒部，其将从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光或者透射过所述检查对象物的光作为观察光进行引导；

摄像部，其安装在所述镜筒部上，对所述观察光进行摄像；

控制部，其一边使所述扫描台部移动，一边使所述照明部发光，进行所述观察光的摄像；以及

检查部，其根据预先登记的检查条件，判断所述摄像的所述检查对象物的图像是否良好，

所述扫描台部具有测量所述载台部的当前位置的位置测量单元，

所述镜筒部具有光分支单元，该光分支单元使所述观察光的一部分透射，并且使一部分改变角度而反射，

所述镜筒部安装有多个所述摄像部，使得能够分别对所述光分支单元所分支的光进行摄像，

所述控制部具有对于每次所述摄像逐次切换用于所述摄像的所述摄像部来进行摄像的功能。

由于使用上述发明的装置，能够使观察光分支而由多个摄像部同时进行摄像，通过与闪光灯发光联动，多个摄像部中的一个在处理中即使处于不能进行下一次摄像的状态，也能够由其他摄像部进行摄像。

权利要求2所述的发明是

一种自动外观检查装置，该自动外观检查装置是对形成在检查对象物上的图案的缺陷进行检测的检查对象物检查装置，其特征在于，具有：

载台部，其载置所述检查对象物；

扫描台部，其使所述载台部在规定的方向上扫描移动；

照明部，其朝向所述检查对象物照射照明光；

镜筒部，其将从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光或者透射过所述检查对象物的光作为观察光进行引导；

摄像部，其安装在所述镜筒部上，对所述观察光进行摄像；

控制部，其一边使所述扫描台部移动，一边使所述照明部发光，进行所述观察光的摄像；以及