[发明专利]流量计测装置

权利要求书

1.一种流量计测装置，其特征在于，包括：

将在主通路中流动的流体的一部分取入的副通路；

设置在所述副通路内的传感器元件；

计测在所述主通路中流动的流体的温度的第一温度传感器；和

设置在所述副通路内的、计测与在所述主通路中流动的流体的温度不同的流体的温度的第二温度传感器。

2.如权利要求1所述的流量计测装置，其特征在于：

基于通过所述第一温度传感器和所述第二温度传感器测定的温度信息测定空气流量。

3.如权利要求2所述的流量计测装置，其特征在于：

具有测定单元，所述测定单元基于所述第一温度传感器的输出、所述第二温度传感器的输出和所述传感器元件的输出，测定在所述主通路内流动的流体的流量。

4.如权利要求3所述的流量计测装置，其特征在于：

所述测定单元包括修正电路，所述修正电路基于所述第一温度传感器的输出和所述第二温度传感器的输出修正所述传感器元件的输出。

5.如权利要求4所述的流量计测装置，其特征在于：

所述修正电路包括：

导出单元，其基于所述第一温度传感器的输出和所述第二温度传感器的输出，导出基于所述主通路与所述副通路的流量比的修正值；和

转换单元，其基于所述修正值将所述传感器元件的输出转换为在所述主通路内流动的流体的流量。

6.如权利要求1所述的流量计测装置，其特征在于：

所述传感器元件包括：形成于半导体基板的膜片；设置在所述膜片上的发热电阻体；和相对于所述发热电阻体设置于流体的流动的上游侧和下游侧的测温电阻体。

7.如权利要求6所述的流量计测装置，其特征在于：

在所述半导体基板设置有副膜片，

在所述副膜片上设置所述第二温度传感器。

8.如权利要求6所述的流量计测装置，其特征在于：

将所述传感器元件和所述修正电路装载于引线框，

形成有将所述传感器元件、所述修正电路和所述引线框一体地模塑密封而成的传感器组件，

所述传感器组件具备模塑开口部，以使得所述膜片暴露于流体中。

9.如权利要求8所述的流量计测装置，其特征在于：

在所述传感器组件内设置所述第二温度传感器，在所述传感器组件表面设置有凹凸部。

10.如权利要求9所述的流量计测装置，其特征在于：

将设置所述第二温度传感器的部分的传感器组件表面做成凹凸形状。

11.如权利要求7所述的流量计测装置，其特征在于：

将所述传感器元件和所述修正电路装载于引线框，

形成有将所述传感器元件、所述修正电路和所述引线框一体地模塑密封而成的传感器组件，

所述传感器组件具备模塑开口部，以使得所述膜片和所述副膜片暴露于流体中。

12.如权利要求6～10中任一项所述的流量计测装置，其特征在于：

所述副通路具有弯曲部，相对于所述弯曲部在流体的流动的下游侧设置所述传感器元件。

13.如权利要求6～10中任一项所述的流量计测装置，其特征在于：

所述副通路包括：具备2个以上与所述主通路连通的开口部的第一副通路；和具备一个以上与所述第一副通路连通的开口部的第二副通路，在所述第二副通路内设置所述传感器元件。

14.如权利要求13所述的流量计测装置，其特征在于：

所述第二副通路相对于在所述第一副通路内流动的流体的主流动方向成90度以上的角度，并且具备一个以上与所述第一副通路连通的开口部。

15.如权利要求12～14中任一项所述的流量计测装置，其特征在于：

所述第二温度传感器设置于所述传感器元件附近。

16.如权利要求1所述的流量计测装置，其特征在于：

所述第一温度传感器以暴露于在所述主通路中流动的流体的方式配置，

所述第二温度传感器以暴露于在所述副通路中流动的流体的方式配置。