[发明专利]热式流量计

权利要求书

1.一种热式流量计，其特征在于，包括：

传感器元件，其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部，并具有形成于所述薄膜部的发热电阻体；

用于设置所述传感器元件的支承部件；和

副通路，在其中配置所述支承部件的一部分，将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入，

该热式流量计具有引导部件，

在令沿在所述副通路内流动的空气流从所述薄膜部上通过的直线为L时，该引导部件设置于所述L上的所述支承部件或所述传感器元件，使沿所述支承部件或所述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离所述L的方向。

2.如权利要求1所述的热式流量计，其特征在于：

所述引导部件相对于所述发热电阻体设置在所述空气流的流动的上游侧和下游侧。

3.如权利要求1或2所述的热式流量计，其特征在于：

所述引导部件是包含从所述支承部件突出的凸部形状的突起物。

4.如权利要求3所述的热式流量计，其特征在于：

在与设置所述传感器元件的面平行的面截断的所述突起物的截面为大致四边形，所述四边形的两个对角线中的任一个对角线朝向沿着所述L的方向。

5.如权利要求4所述的热式流量计，其特征在于：

所述两个对角线的长度不同，所述两个对角线中较长的对角线朝向沿着所述L的方向。

6.如权利要求4或5所述的热式流量计，其特征在于：

所述两个对角线相交的点与沿着所述L的一侧的对角线的中心相比位于远离所述传感器元件的方向。

7.如权利要求5或6所述的热式流量计，其特征在于：

形成为所述两个对角线中较短的对角线的长度比所述薄膜部的与所述L垂直的方向上的长度长的形状。

8.如权利要求3～7中任一项所述的热式流量计，其特征在于：

在与所述支承部件的设置所述传感器元件的面相对的所述副通路的壁面，设置有从所述壁面突出的节流部，

从所述支承部件的表面起的所述凸部的高度H与所述节流部的突出量T的关系为H＞T。

9.如权利要求1或2所述的热式流量计，其特征在于：

所述引导部件为设置于所述支承部件的发热体。

10.如权利要求9所述的热式流量计，其特征在于：

所述发热体的形状为：在令所述发热体的空气流的流动方向上的宽度为X、与空气流垂直的方向上的宽度为Y时，满足X＞Y。

11.如权利要求10所述的热式流量计，其特征在于：

所述发热体的形状为：在令所述薄膜部的与所述L垂直的方向上的长度为Yd时，与所述宽度Y的关系满足Y＞Yd。

12.如权利要求1或2所述的热式流量计，其特征在于：

所述引导部件为设置于所述传感器元件的发热体。

13.如权利要求12所述的热式流量计，其特征在于：

所述发热体的形状为：在令所述发热体的与空气流垂直的方向上的宽度为Y、令所述发热电阻体的与空气流垂直的方向上的宽度为Yh时，满足Y＜Yh。

14.如权利要求12或13所述的热式流量计，其特征在于：

所述发热体与所述发热电阻体串联或并联地电连接。

15.如权利要求1或2所述的热式流量计，其特征在于：

所述引导部件为由设置于所述支承部件的电极部产生的电场。

16.如权利要求15所述的热式流量计，其特征在于：

所述电极部包括第一电极部和第二电极部，所述第一电极部和所述第二电极部以隔着所述L的方式配置。

17.如权利要求16所述的热式流量计，其特征在于：

在令所述第一电极与所述第二电极的间隔为Y、令所述薄膜部的与空气流的流动方向垂直的方向上的宽度为Yd时，满足Y＞Yd。

18.如权利要求1或2所述的热式流量计，其特征在于：

所述引导部件包括设置于所述支承部件的第一突出部和第二突出部，

以隔着所述线L的方式配置所述第一突出部和所述第二突出部。