[发明专利]热式流量计

说明书

技术领域

本发明涉及在被测量流体中设置发热电阻体对流量进行测定的热式流量计，特别涉及适用于汽车的内燃机的吸入空气量和排气流量的测定的热式流量计。

背景技术

作为对汽车等的内燃机的吸入空气量进行测量的空气流量计，能够直接测定质量流量的热式的空气流量计成为主流。

作为热式的空气流量计，具有在硅(Si)等半导体基板设置将半导体基板的一部分除去后的几微米的薄膜部，在该薄膜部设置有形成有发热电阻体和感温电阻体的传感器元件的半导体类型的热式空气流量计。这样的半导体类型的热式流量计设置在内燃机的吸气管路，用于测定吸入空气的流量等流体的量。

虽然在上游侧设置有空气过滤器以捕获尘埃，但是在内燃机的吸气管路中会流动混入有在空气过滤器中不能够捕获的微小颗粒和从内燃机的燃烧室侧扩散来的碳、油等异物的吸入空气。因此，为了高精度地测定吸入空气量，需要保护传感器元件不受这样的异物影响。

一直以来，作为用于保护传感器元件不受流体中的异物影响的技术，具有专利文献1或专利文献2中记载的技术。专利文献1中记载的技术是，通过在流量测定装置或传感器元件的上游侧设置障碍物来防止尘埃的进入和对传感器元件的碰撞。专利文献2中记载的技术是，通过在副通路的内面设置槽或突起，利用该槽等捕获水滴等液状体来防止液状体附着于传感器元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-214915号公报

专利文献2：日本特开2006-162631号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在与装载传感器元件的一侧的面相对的副通路内壁面，设置有用于使流体的流速加速而提高传感器元件的检测灵敏度的节流部。专利文献1中记载的技术虽然通过在传感器元件的上游侧设置障碍物而避免尘埃与传感器元件碰撞，但是根据节流部的形状，本应该因障碍物而离开传感器元件的尘埃会由于节流部而转向至朝向传感器元件的方向，飞向传感器元件，与传感器元件碰撞并附着在传感器元件上。为了避免这种情况，需要形成和缓的节流部。但是，按这样的形状形成的话，节流部的形状失去自由度，而且，因为在某种程度上需要将节流部的距离设计得较长，所以在小型化方面存在极限。进一步，从障碍物至传感器元件的距离变长，由于障碍物而向从设置传感器元件的设置面离开的方向回避的尘埃扩散，不能充分地得到设置障碍物的效果。特别是粒径为几微米的微小颗粒容易扩散，更不能得到上述效果。

此外，专利文献2中记载的技术通过在副通路壁面设置槽等而使得水滴附着在该槽等，通过将水滴引导至槽等延伸设置的方向来抑制水滴在传感器元件的附着。即，在本技术中，对附着于副通路壁面的液体有效，对浮游于整个副通路的微小颗粒无效。

由此，现有技术中对于与节流部的关系和保护传感器元件不受容易扩散的尘埃等微小颗粒的影响方面未充分地进行研究，传感器元件被尘埃等污损，产生污损导致的测量误差。

本发明的目的在于提供减少传感器元件的污损的热式流量计。

用于解决技术问题的技术方案

为了达到上述目的，本发明的热式流量计具有：传感器元件，其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部，并具有形成于上述薄膜部的发热电阻体；用于设置上述传感器元件的支承部件；和副通路，在其中配置上述支承部件的一部分，将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入，该热式流量计具有引导部件，在令沿在上述副通路内流动的空气流从上述薄膜部上通过的直线为L时，该引导部件设置于上述L上的上述支承部件或上述传感器元件，使沿上述支承部件或上述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离上述L的方向。

发明的效果

根据本发明，能够提供减少传感器元件的污损的热式流量计。

附图说明

图1是本发明的第一实施例的热式流量传感器的传感器元件的平面图。

图2是表示图1的传感器元件1的X-X’截面和温度分布的图。

图3是驱动图1的传感器元件1的电路。

图4是表示热式流量传感器的传感器元件1的安装结构的图。

图5是本发明的第一实施例的支承部件23的平面图。

图6是图5的支承部件23的沿L线的截面图。

图7是表示本发明的第一实施例的引导机构的平面图。

图8是表示现有技术中的微小颗粒的流动的图。

图9是表示本发明的第一实施例中的微小颗粒的流动的图。

图10是表示本发明的第一实施例的引导机构的另一形状的图。