[发明专利]输送设备

说明书

相关申请的交叉引用

本申请为2011年12月16日提交的美国临时专利申请号61/576,450的非临时申请，且请求享有其权益，该申请的公开内容通过引用而整体并入本文中。

技术领域

示例性实施例大体上涉及输送设备，并且更具体而言，涉及机器人输送设备。

背景技术

大体上，输送设备使用末端执行器或基底保持器，其利用基底与末端执行器之间的被动接触(例如，被动抓持)。通过被动抓持末端执行器实现的最大加速度阈值可极大地取决于用于被动地接触基底的材料的选择。较高加速度阈值可利用“橡胶类”材料(诸如Kalrez 4079)来实现，该材料自然地比其它材料(诸如氧化铝或石英)顺应性更大。另一方面，橡胶类材料趋于具有较高的粘合力，这可能不利于基底放置准确度以及过程清洁度。还应注意的是，橡胶类材料可能不能够处理热基底。如氧化铝和石英的材料能够在较高温度下操作，且具有低于橡胶类材料的粘合力，然而它们的加速度阈值(或摩擦系数)在与橡胶类材料相比时较低。

发明内容

将有利的是具有一种具有被动抓持末端执行器的输送装置，其允许最大化的加速度阈值，同时保持至少较低的粘合力。本申请解决技术问题所采用的技术方案是提供一种用于输送基底的基底输送设备，所述基底输送设备包括：框架；至少一个传递臂，其连接到所述框架；至少一个末端执行器，其安装到所述至少一个传递臂；和至少一个基底支承垫，其设置在所述至少一个末端执行器上，所述至少一个基底支承垫具有下列构造，所述构造实现方向可变的摩擦系数，以提供由沿至少一个预定方向的、大于沿另一个预定方向的摩擦系数的增大的摩擦系数所引起的增大的摩擦力。相比于现有技术，本申请具有如下有益效果：该设置在末端执行器上的基底支承垫具有方向可变的摩擦系数，其允许最大化的加速度阈值，同时保持较低的粘合力。

附图说明

在结合附图作出的以下描述中，阐释了公开实施例的前述方面和其它特征，在附图中：

图1A-1D为根据公开实施例的方面的处理工具的示意性视图；

图1E为根据公开实施例的方面的输送车的简图；

图2A-2E为根据公开实施例的方面的输送设备的简图；

图3A和3B为根据公开实施例的方面的输送设备的一部分的简图；

图4为根据公开实施例的方面的输送设备的一部分的简图；

图5和5A-5K为根据公开实施例的方面的输送设备的一部分的简图；

图6A-6E为根据公开实施例的方面的输送设备的一部分的简图；

图7A和7B为根据公开实施例的方面的输送设备的一部分的简图；并且

图8为根据公开实施例的方面的基底保持装置的简图。

应注意的是，附图中所示的特征的比例仅出于示范性目的，且不代表特征的实际比例。

具体实施方式

尽管将参照附图来描述公开实施例的方面，但应当理解的是，公开实施例的方面可以以许多形式体现。此外，可使用任何适合的尺寸、形状或类型的元件。

参看图1A-1D，示出了组成如本文进一步公开的公开实施例的方面的基底处理设备或工具的示意性视图。